[发明专利]麦克风单元

权利要求书

1.一种麦克风单元，包括：

振动板，由于声压而振动；

壳体，设置有用于容纳所述振动板的内部空间以及用作音孔并且使得所述内部空间与外部连通的开口部；以及

膜，由不透气的材料形成并且接合到所述壳体以覆盖所述开口部；其中，

所述膜设置有内部压力调节部。

2.根据权利要求1所述的麦克风单元，其中，所述膜通过形成为包围所述开口部的第一粘合部接合到所述壳体；以及

当从布置有所述膜的一侧观看所述麦克风单元时，所述内部压力调节部是布置在比所述第一粘合部更靠内的位置。

3.根据权利要求2所述的麦克风单元，其中，所述内部压力调节部是穿过所述膜的至少一个内部压力调节孔。

4.根据权利要求3所述的麦克风单元，其中，当从布置有所述膜的该侧观看所述麦克风单元时，所述内部压力调节孔布置在与所述开口部重叠的位置。

5.根据权利要求3所述的麦克风单元，其中，当从布置有所述膜的该侧观看所述麦克风单元时，所述内部压力调节孔布置在不与所述开口部重叠的位置。

6.根据权利要求5所述的麦克风单元，其中，所述内部压力调节孔布置在所述开口部附近。

7.根据权利要求5所述的麦克风单元，其中，所述内部压力调节孔布置在比所述开口部更靠外并且离开所述开口部的位置。

8.根据权利要求7所述的麦克风单元，其中，当从布置有所述膜的该侧观看所述麦克风单元时，布置有第二粘合部以从比所述开口部和所述第一粘合部之间的所述内部压力调节孔更靠内的位置向外扩展从而包围所述开口部，而且所述第二粘合部以比所述第一粘合部弱的粘合力将所述膜和所述壳体彼此接合。

9.根据权利要求7所述的麦克风单元，其中，当从布置有所述膜的该侧观看所述麦克风单元时，第二粘合部布置在所述开口部和所述第一粘合部之间以包围除了一部分之外的所述开口部，而且将所述膜与所述壳体彼此接合，而且所述内部压力调节孔布置在位于所述第一粘合部和所述第二粘合部之间的位置而且离开所述一部分。

10.根据权利要求2所述的麦克风单元，其中，所述内部压力调节部是在压力作用在所述膜的情况下变化为极小通孔的薄部。

11.根据权利要求2所述的麦克风单元，其中，所述膜的一个表面设置有具有凹凸形状的粘合层，形成在所述粘合层上的凹部起到所述内部压力调节部的作用。

12.根据权利要求1到11中任一权利要求所述的麦克风单元，其中，具有所述振动板以及与所述振动板配合以形成电容器的固定电极的MEMS（微机电系统）芯片容纳在所述内部空间中。