[发明专利]具有含垂直位线和字线的有效解码的读/写元件的3D阵列的非易失性存储器有效

专利信息
申请号: 201180028664.3 申请日: 2011-06-07
公开(公告)号: CN102971798A 公开(公告)日: 2013-03-13
发明(设计)人: G.萨马奇萨;L.法索里;东谷政昭;R.E.肖伊尔莱恩 申请(专利权)人: 桑迪士克3D有限责任公司
主分类号: G11C13/00 分类号: G11C13/00;H01L27/24
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人: 黄小临
地址: 美国加利*** 国省代码: 美国;US
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摘要:
搜索关键词: 具有 垂直 有效 解码 元件 阵列 非易失性存储器
【权利要求书】:

1.一种存储器,包括以三维样式的形式布置的存储器元件,该三维样式由具有x、y和z方向的矩形坐标定义并且具有在z方向上堆叠的多个平行平面,该存储器还包括:

多条第一导线,穿过所述多个平面在z方向上伸长,并且以在x方向上的行和在y方向上的列的二维矩形阵列的形式布置,其中所述多条第一导线被划分为第一组和第二组第一导线;

多条第二导线,跨过各个平面在x方向上伸长,并且在y方向上在各个平面中的多条第一导线之间间隔开并且与所述多条第一导线分离,其中所述第一和第二导线跨过各个平面在多个位置处彼此相邻地交叉;

多个非易失性可再编程存储器元件,各自在第一组多个位置处与所述第一组第一导线和第二导线的交叉点相邻而连接在第一组第一导线和第二导线之间;

多个连接器,各自在第二组多个位置处与所述第二组第一导线和第二导线的交叉点相邻而连接在第二组第一导线和第二导线之间;

多条第三导线,被划分为第一组和第二组第三导线;以及

第一组选择器件,布置为将在x方向上的所选行的第一导线切换到第一组第三导线;以及

第二组选择器件,布置为将该多条第二导线的所选组切换到各自的第二组第三导线。

2.如权利要求1所述的存储器,其中:

每对相邻的第二导线布置在x方向上在相应行的第一导线周围,用于独占地与其一起操作。

3.如权利要求1所述的存储器,其中所述多条第二导线的所选组包括在所有多个平面处布置在所选行第一导线周围的相邻对的第二导线。

4.如权利要求1所述的存储器,其中

第三导线在y方向上伸长,

选择器件布置为使得第一导线中在x方向上对准的那些第一导线可与该多条第三导线中的所选第三导线连接,以及

多条控制线在x方向上延伸并且各自与在x方向上对准的多个选择器件连接以使能在x方向上对准的多条第一导线与第三导线中的不同导线的连接。

5.如权利要求1所述的存储器,其中所述多个选择器件和多条第三导线形成在半导体基板中,并且所述多个平面被形成为在半导体基板上方的堆叠。

6.如权利要求5所述的存储器,其中各个第三导线每个位于在x-y平面中跨过x方向上的相邻列的第一导线之间。

7.如权利要求6所述的存储器,其中选择器件每个具有与在x-y平面中的第一导线的二维阵列对准的源极端和漏极端。

8.如权利要求7所述的存储器,其中每个选择器件的源极端和漏极端在y方向上对准。

9.如权利要求7所述的存储器,其中每个选择器件的源极端和漏极端在x-y平面中对角地对准。

10.如权利要求8-9的任意一项所述的存储器,其中一行第一导线被两行相邻的选择器件同时切换到第三导线中的不同导线。

11.如权利要求5所述的存储器,其中各个第三导线每个定位为与在x-y平面中跨过x方向的第一导线的列一致。

12.如权利要求11所述的存储器,其中每个选择器件的源极端和漏极端在y方向上对准。

13.如权利要求1所述的存储器,其中:

所述多个选择器件形成在半导体基板中;

所述多个平面形成为在半导体基板上方的堆叠;以及

所述多条第三导线形成在所述堆叠上方。

14.如权利要求13所述的存储器,还包括:

在各个选择器件和各自的第三导线之间穿过所述堆叠的垂直互连的导线。

15.如权利要求1所述的存储器,其中各个存储器元件的特征在于包括响应于通过该存储器元件连接于其间的第一和第二导线施加的电刺激而在至少第一和第二稳定水平之间可逆地改变其电导的水平的材料。

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