[发明专利]激光加工方法

说明书

技术领域

本发明涉及用于切断加工对象物的激光加工方法。

背景技术

作为以往的激光加工方法，将激光聚光于加工对象物，而在加工对象物沿着切断预定线形成改质区域的技术为众所皆知（例如，参照专利文献1）。在这样的激光加工方法中，沿着切断预定线形成多个改质点，由这些多个改质点来形成改质区域。

专利文献1：日本特开2006－108459号公报

发明内容

发明所要解决的技术问题

在此，在近年的激光加工方法中，会有例如对应于被要求的品质，使激光的脉冲能量变化的情况。但，在此情况，在上述的激光加工方法中，会有自改质区域所产生的龟裂的延伸容易度即分割力降低，造成生产性（产距）恶化的情况。

因此，本发明的目的在于提供可对应于被要求的品质而提高分割力的激光加工方法。

用以解决技术问题的手段

为了解决上述技术问题，本发明者们精心检讨的结果发现，对加工对象物照射半值宽度与自立起到下降为止的时间宽度（所谓的底宽）彼此相等的脉冲波形的激光而形成改质区域时，可提高分割力。而且，本发明者们更进一步精心检讨的结果又发现，激光的脉冲能量变化的情况下，依据激光的脉冲波形，分割力会有所不同。因此，本发明者们想到，对应于脉冲能量，将半值宽度与底宽相等的脉冲波形予以最适当化，则可对应于被要求的质量获得高分割力，而完成了本发明。

即，本发明的激光加工方法是使激光聚光于加工对象物，而在加工对象物沿着切断预定线形成改质区域的激光加工方法，其特征为：包含改质区域形成工序，其由对加工对象物照射具有半值宽度与立起到下降为止的时间宽度彼此相等的脉冲波形的激光，而沿着切断预定线形成多个改质点，由多个改质点形成改质区域，在改质区域形成工序中，在激光的脉冲能量为比规定值低的第1值的情况下，将构成为峰值位于其前半侧且呈锯刃状的第1脉冲波形作为脉冲波形加以设定，并且在脉冲能量为比规定值高的第2值的情况下，将构成为峰值位于其后半侧且呈锯刃状的第2脉冲波形作为脉冲波形加以设定。

在本发明的激光加工方法中，将半值宽度与底宽相等的脉冲波形的激光照设于加工对象物。于是此时，在例如对应于被要求的品质，脉冲能量被作为第1值或第2值的情况下，由于第1脉冲波形或第2脉冲波形系作为脉冲波形而分别被设定，故，脉冲波形可对应于脉冲能量而以提高分割力的方式进行最适化。这是由于在峰值位于其前半侧的锯刃状的第1脉冲波形，在脉冲能量为第1值的情况具有高分割力，而在峰值位于其后半侧的锯刃状的第2脉冲波形，在脉冲能量为第2值的情况具有高分割力。因此，依据本发明，可对应于被要求的品质提高分割力。

在此，有下述情况，即，第1脉冲波形为急剧地立起而到达峰值后逐渐下降，然后急剧地下降的波形，第2脉冲波形为急剧地立起后逐渐上升而到达峰值，然后急剧地下降的波形。另外，在改质区域形成工序中，在脉冲能量为规定值的情况下，会有将构成为矩形状的第3脉冲波形作为脉冲波形加以设定的情况。

另外，优选为，在改质区域形成工序中，在加工对象物中的激光照射面的相反面侧形成改质点的情况下，将脉冲能量作成为第1值。在此情况，可抑制因激光的照射造成在加工对象物中的激光照射面的相反面产生损伤的情况产生。

另外，优选为，在改质区域形成工序中，在加工对象物中的激光照射面的相反面侧形成改质点的情况下，将脉冲能量作成为第2值。在此情况，可使龟裂确实地露出于加工对象物中的激光照射面的相反面。

发明效果

依据本发明，可对应于被要求的品质，提高分割力。

附图说明

图1为用于形成改质区域的激光加工装置的概略构成图。

图2为成为形成改质区的对象的加工对象物的平面图。

图3为沿着图2的加工对象物的III－III线的截面图。

图4为激光加工后的加工对象物的平面图。

图5为沿着图4的加工对象物的V－V线的截面图。

图6为沿着图4的加工对象物的VI－VI线的截面图。

图7为显示本实施方式的激光光源的方块图。

图8为显示本实施方式的第1脉冲波形的图。

图9为显示本实施方式的第2脉冲波形的图。

图10为显示本实施方式的第3脉冲波形的图。

图11为显示比较例1的脉冲波形的图。

图12为显示比较例2的脉冲波形的图。

图13为显示脉冲波形与分割力的关系的图。