[发明专利]激光加工方法有效
| 申请号： | 201180027408.2 | 申请日： | 2011-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN102933347A | 公开（公告）日： | 2013-02-13 |
| 发明（设计）人： | 杉浦隆二 | 申请（专利权）人： | 浜松光子学株式会社 |
| 主分类号： | B23K26/38 | 分类号： | B23K26/38;B23K26/073;B23K26/40;C03B33/09;H01L21/301 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 杨琦 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 激光 加工 方法 | ||
1.一种激光加工方法，其特征在于，
是使激光聚光于加工对象物，并在所述加工对象物沿着切断预定线形成改质区域的激光加工方法，
包含改质区域形成工序，其通过对所述加工对象物照射具有半值宽度与自立起到下降为止的时间宽度彼此相等的脉冲波形的所述激光，从而沿着所述切断预定线形成多个改质点，通过多个所述改质点形成所述改质区域，
在所述改质区域形成工序中，
在所述激光的脉冲能量为比规定值低的第1值的情况下，将构成为峰值位于其前半侧且呈锯刃状的第1脉冲波形作为所述脉冲波形而设定，并且
在所述脉冲能量为比所述规定值高的第2值的情况下，将构成为峰值位于其后半侧且呈锯刃状的第2脉冲波形作为所述脉冲波形而设定。
2.如权利要求1所述的激光加工方法，其特征在于，
所述第1脉冲波形为急剧地立起而到达峰值后逐渐下降，然后急剧地下降的波形，
所述第2脉冲波形为急剧地立起后逐渐上升而到达峰值，然后急剧地下降的波形。
3.如权利要求1或2所述的激光加工方法，其特征在于，
在所述改质区域形成工序中，
在所述脉冲能量为所述规定值的情况下，将构成为呈矩形状的第3脉冲波形作为所述脉冲波形而设定。
4.如权利要求1~3中任一项所述的激光加工方法，其特征在于，
在所述改质区域形成工序中，
在所述加工对象物的激光照射面的相反面侧形成所述改质点的情况下，将所述脉冲能量作为所述第1值。
5.如权利要求1~3中任一项所述的激光加工方法，其特征在于，
在所述改质区域形成工序中，
在所述加工对象物的激光照射面的相反面侧形成所述改质点的情况下，将所述脉冲能量作为所述第2值。
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