[发明专利]有机EL元件的制造方法和制造装置

说明书

技术领域

本发明涉及例如能够利用于有机EL（Electro Luminescence：电致发光）显示器等的有机EL元件的制造方法和制造装置。

背景技术

近年来，不断要求平板面板显示器的大型化、高画质化、低消耗电力化，能够以低电压驱动且高画质的有机EL显示器受到高度瞩目。例如，在全彩色的有源矩阵方式的有机EL显示器中，在设置有TFT（薄膜晶体管）的基板上设置有薄膜状的有机EL元件。在有机EL元件中，在一对电极之间叠层有包括红色（R）、绿色（G）和蓝色（B）的发光层的有机EL层。在一对电极中的一个电极连接有TFT。而且，通过在一对电极间施加电压使各发光层发光来进行图像显示。

为了制造有机EL元件，需要以规定的图案形成包括在各种颜色中发光的有机发光材料的发光层。

作为以规定图案形成发光层的方法，例如已知有真空蒸镀法、喷镀法、激光转印法。例如在低分子型有机EL显示器（OLED）中，多使用真空蒸镀法。

在真空蒸镀法中使用形成有规定图案的开口的掩模（也称为荫罩）。使紧密固定有掩模的基板的被蒸镀面与蒸镀源相对。然后，通过使来自蒸镀源的蒸镀颗粒（成膜材料）通过掩模的开口蒸镀于被蒸镀面，形成规定图案的薄膜。蒸镀按每种发光层的颜色进行（将这称为“分涂蒸镀”）。

例如在专利文献1、2记载有使掩模相对于基板依次移动来进行各种颜色的发光层的分涂蒸镀的方法。在这样的方法中，使用与基板大小相同的掩模，在蒸镀时掩模以覆盖被蒸镀面的方式被固定。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平8-227276号公报

专利文献2：日本特开2000-188179号公报

发明内容

发明所要解决的问题

在这样的现有的分涂蒸镀法中，基板变得越大，相应地掩模也需要大型化。但是，当增大掩模时，因掩模的自重弯曲和延伸，而容易在基板与掩模之间产生间隙。因此，难以进行高精度的图案形成，产生蒸镀位置的偏离和/或混色而难以实现高精细化。

此外，当增大掩模时，掩模和保持其的框架等变得巨大其重量也增加，因此处理变得困难，存在妨碍生产性和安全性的问题。此外，蒸镀装置和附设在该蒸镀装置的装置也同样变得巨大、复杂，因此，装置设计变得困难，设置成本也变得昂贵。

因此，利用现有的分涂蒸镀法难以实现对大型基板的对应，例如对超过60英寸那样的大型基板，不能够实现能够以量产级别进行分涂蒸镀的方法。

另一方面，在有机EL显示器中，不仅大型化而且高分辨率化和高度化也被强烈地期望。因此，需要减小有机EL元件的像素间距，增大开口率。

本发明的目的在于，提供能够以不扩大像素间距、不降低开口率等的方式应用于大型的基板的有机EL元件的制造方法和制造装置。

用于解决问题的方式

本发明的有机EL元件的制造方法是在基板上具有规定图案的覆膜的有机EL元件的制造方法，其具有使蒸镀颗粒附着于上述基板上而形成上述覆膜的蒸镀工序。在上述蒸镀工序中，使用包括蒸镀源和蒸镀掩模的蒸镀单元，在使上述基板与上述蒸镀掩模隔开一定间隔的状态下，一边使上述基板和上述蒸镀单元中的一个相对于另一个相对地移动，一边使通过在上述蒸镀掩模形成的多个掩模开口的上述蒸镀颗粒附着于上述基板，其中，上述蒸镀源包括放出上述蒸镀颗粒的蒸镀源开口，上述蒸镀掩模配置于上述蒸镀源开口与上述基板之间。当将上述基板和上述蒸镀单元间的相对移动方向设为第一方向，将与上述第一方向正交的方向设为第二方向时，上述蒸镀单元在上述蒸镀源开口与上述蒸镀掩模之间包括在上述第二方向上的位置不同的多个限制板。上述多个限制板中的各个限制板的特征在于：对向上述多个掩模开口中的各个掩模开口入射的上述蒸镀颗粒的沿上述第一方向看时的入射角度进行限制。