[发明专利]有机EL元件的制造方法和制造装置

权利要求书

1.一种有机EL元件的制造方法，其特征在于：

其是在基板上具有规定图案的覆膜的有机EL元件的制造方法，

所述有机EL元件的制造方法具有使蒸镀颗粒附着于所述基板上而形成所述覆膜的蒸镀工序，

在所述蒸镀工序中，使用包括蒸镀源和蒸镀掩模的蒸镀单元，在使所述基板与所述蒸镀掩模隔开一定间隔的状态下，一边使所述基板和所述蒸镀单元中的一个相对于另一个相对地移动，一边使通过在所述蒸镀掩模形成的多个掩模开口的所述蒸镀颗粒附着于所述基板，其中，所述蒸镀源包括放出所述蒸镀颗粒的蒸镀源开口，所述蒸镀掩模配置于所述蒸镀源开口与所述基板之间，

当将所述基板和所述蒸镀单元间的相对移动方向设为第一方向，将与所述第一方向正交的方向设为第二方向时，所述蒸镀单元在所述蒸镀源开口与所述蒸镀掩模之间包括在所述第二方向上的位置不同的多个限制板，

所述多个限制板中的各个限制板，对向所述多个掩模开口中的各个掩模开口入射的所述蒸镀颗粒的沿所述第一方向看时的入射角度进行限制。

2.如权利要求1所述的有机EL元件的制造方法，其特征在于：

所述限制板防止在所述限制板的所述第二方向的一侧从所述蒸镀源开口放出的蒸镀颗粒进入配置于所述限制板的所述第二方向的另一侧的所述掩模开口。

3.如权利要求1所述的有机EL元件的制造方法，其特征在于：

所述蒸镀源开口配置于沿所述第二方向相邻的所述限制板之间。

4.如权利要求1所述的有机EL元件的制造方法，其特征在于：

所述蒸镀源开口的数量为多个，

所述多个蒸镀源开口与所述多个限制板在所述第二方向上的间距大致相同。

5.如权利要求1所述的有机EL元件的制造方法，其特征在于：

配置于沿所述第二方向相邻的所述限制板之间的所述多个掩模开口的在所述第二方向上的宽度，随着所述多个掩模开口沿所述第二方向远离配置于沿所述第二方向相邻的所述限制板之间的所述蒸镀源开口的在所述第二方向上的位置而变大。

6.如权利要求1所述的有机EL元件的制造方法，其特征在于：

配置于沿所述第二方向相邻的所述限制板之间的所述多个掩模开口的在所述第一方向上的长度，随着所述多个掩模开口沿所述第二方向远离配置于沿所述第二方向相邻的所述限制板之间的所述蒸镀源开口的在所述第二方向上的位置而变长。

7.如权利要求1所述的有机EL元件的制造方法，其特征在于：

配置于沿所述第二方向相邻的所述限制板之间的所述多个掩模开口的在所述第二方向上的间距为一定。

8.如权利要求1所述的有机EL元件的制造方法，其特征在于：

配置于沿所述第二方向相邻的所述限制板之间的所述多个掩模开口的在所述第二方向上的间距小于在所述基板上形成的所述覆膜的在所述第二方向上的间距。

9.如权利要求1所述的有机EL元件的制造方法，其特征在于：

沿在所述第一方向上的位置不同的多列配置有多个所述蒸镀源开口，与所述多个蒸镀源开口的位置对应地沿所述多列配置有所述多个掩模开口和所述多个限制板。

10.如权利要求9所述的有机EL元件的制造方法，其特征在于：

关于所述蒸镀源开口、所述掩模开口和所述限制板的在所述第二方向上的位置，所述多列中的至少一列与其它的至少一列不同。

11.如权利要求9所述的有机EL元件的制造方法，其特征在于：

在所述多列中的沿所述第一方向相邻的两列，所述多个蒸镀源开口交错配置。

12.如权利要求9所述的有机EL元件的制造方法，其特征在于：

所述蒸镀单元在所述蒸镀源开口与所述蒸镀掩模之间还包括第二限制板，

所述第二限制板防止在所述第二限制板的所述第一方向的一侧从所述蒸镀源开口放出的蒸镀颗粒进入配置于所述第二限制板的所述第一方向的另一侧的所述掩模开口。

13.如权利要求9所述的有机EL元件的制造方法，其特征在于：

配置于沿所述第一方向相邻的两列中的各列的所述蒸镀源开口，沿所述第二方向看时逆向倾斜地开口。