[发明专利]压电振动器件的密封部件及压电振动器件

权利要求书

1.一种压电振动器件的密封部件，其中，所述压电振动器件的压电振动片的振动区域被多个所述密封部件气密性密封，该压电振动器件的密封部件的特征在于：

在构成所述密封部件的基材的一主面上成形有凸部，

在所述基材的另一主面上，与所述凸部对应的区域为平坦面，该平坦面以外的区域为弯曲面，

用于连接外部电路基板的多个外部端子形成在所述平坦面上，

用于检查压电振动片的多个检查端子形成在所述弯曲面上。

2.如权利要求1所述的压电振动器件的密封部件，其特征在于：

在该密封部件中，

形成有贯通所述基材的两主面的多个通孔，

所述多个通孔的排列相对于所述另一主面的任一边都倾斜。

3.如权利要求1或2所述的压电振动器件的密封部件，其特征在于：

所述凸部是构成所述密封部件外形的一个部分的壁部。

4.如权利要求1或2所述的压电振动器件的密封部件，其特征在于：

在该密封部件中，设有由覆盖所述检查端子的绝缘材料构成的绝缘部。

5.如权利要求1或2所述的压电振动器件的密封部件，其特征在于：

在该密封部件中，图像识别用的一对识别部作为电极而形成在所述基材的一主面上。

6.如权利要求1或2所述的压电振动器件的密封部件，其特征在于：

在所述基板的一主面上，形成有既用于压电振动片又用于图像识别的枕部。

7.一种压电振动器件，其特征在于：

设有权利要求1至6中任一项所述的密封部件及所述压电振动片。

8.如权利要求7所述的压电振动器件，其特征在于：

集成电路元件被设置在所述密封部件中，

所述密封部件与所述集成电路元件之间的空隙在50μm以下，所述密封部件与所述压电振动片之间的空隙比所述密封部件与所述集成电路元件之间的空隙还宽。