[发明专利]等离子处理装置

说明书

技术领域

本发明涉及使处理气体通过接近大气压的放电空间从而等离子化后与配置于放电空间的外部的被处理物接触，来对被处理物进行表面处理的装置，特别涉及排列3个以上的形成上述放电空间的电极的等离子处理装置。

背景技术

已经公知排列3个以上电极的大气压等离子处理装置(参照专利文献1等)。相邻的电极彼此的对置面(放电生成面)由固体电介质所覆盖。作为固体电介质例如使用氧化铝等的陶瓷板(电介质部件)。在覆盖相邻的电极的对置面的陶瓷板彼此间形成有狭缝状的通路。通过在电极间施加电场，在电极间，在接近大气压下生成放电，上述狭缝状的空间成为放电空间。处理气体被导入到放电空间中而被等离子化。等离子化后的处理气体从放电空间中导出，喷射到被处理物上。由此，对被处理物进行表面处理。

先行技术文献

专利文献

专利文献1：JP特开2005-333096号公报

发明的概要

发明要解决的课题

在大气压等离子处理装置的由电极的放电生成面的周缘和陶瓷板作出的转角部易于产生潜流放电(creeping discharge)。若在上述转角部存在空气等的气氛气体，则会由于潜流放电而生成臭氧等的腐蚀性成分。上述气氛气体因电极的热而高温化，从而对流。上述腐蚀性成分也与该气氛气体一起对流从而离开电极，并向周边扩散。但是，在排列有3个以上的电极的情况下，在内侧的电极的下侧的转角部产生的腐蚀性成分由于高温化而一边与电极的下端面接触一边对流。因此，上述内侧的电极的下端部易被腐蚀。

发明内容

用于解决课题的手段

本发明鉴于上述问题而提出，是一种等离子处理装置，使处理气体通过接近大气压的放电空间后与配置于所述放电空间的外部的被处理物接触，其特征在于，具备：3个以上的电极，各自形成为具有下端面以及与所述下端面交叉的放电生成面的板状，并按照使相邻电极彼此的所述放电生成面相对的方式，在与所述放电生成面交叉的排列方向上排列；电介质部件，其由覆盖所述各放电生成面且勾画所述放电空间的板状的固体电介质构成；和清洗喷嘴，其按照使清洗气体沿着所述3个以上的电极中的配置于内侧的电极的下端面流动的方式来喷出该清洗气体。

根据上述的构成，即使在由所述内侧的电极的下端面和电介质部件作出的转角部生成由于潜流放电而引起的腐蚀性成分，也能通过清洗气体而从所述内侧电极的下端面的周边除去(清洗)该腐蚀性成分。因而，能防止所述内侧的电极的下端部被腐蚀。

优选所述清洗喷嘴配置在所述内侧的电极的下端面的与所述排列方向正交(或交叉)的长边方向的一端侧。

从所述清洗喷嘴喷出的清洗气体沿着所述内侧电极的下端面的长边方向，从一端侧流向另一端侧。由此，能确实地从所述内侧电极的下端面的几乎整个周边除去因潜流放电而引起的腐蚀性成分。

也可以在所述3个以上的电极的下方，隔着间隙并跨过这些电极而设置有气体导出部，所述电介质部件比所述电极更向下突出从而与所述气体导出部连结，在所述气体导出部的内部形成有与所述放电空间相连的气体导出路径。也可以所述清洗喷嘴按照面向所述内侧的电极与所述气体导出部之间的间隙(下面称作“内侧间隙”)在与所述排列方向正交(或交叉)的长边方向的一端侧的开口的方式来配置，所述内侧间隙在所述长边方向的另一端侧的开口开放。

在由所述电极的下端面和所述电介质部件的向所述下方的突出部分作出的转角部容易发生潜流放电。若引起潜流放电，则所述间隙内的气氛气体中的氧会臭氧化等，从而在所述间隙内生成腐蚀性成分。为此，从所述清洗喷嘴向所述内侧间隙内喷出清洗气体。清洗气体沿着所述内侧间隙间的长边方向，从一端侧流向另一端侧，从另一端侧的开口流出。由此，能将内侧间隙内的气体置换为清洗气体。因此，即使在上述转角部发生潜流放电也能抑制或防止腐蚀性成分的生成。就算在所述内侧间隙内生成了腐蚀性成分，也能将该腐蚀性成分与清洗气体一起从内侧间隙中除去。其结果，能防止所述内侧电极的下端部被腐蚀。

本发明适于在接近大气压的压力下生成等离子来进行表面处理的等离子表面处理装置。在此，接近大气压是指1.013×10⁴～50.663×10⁴Pa的范围，若考虑使压力调整容易和装置构成的简便化，则优选1.333×10⁴～10.664×10⁴Pa，更优选9.331×10⁴～10.397×10⁴Pa。

发明的效果