[发明专利]合并多个几何像素图像并生成单个调制器像素图像的方法

权利要求书

1.一种在基板上的辐射敏感层中形成自定义潜像的方法，所述方法包括：

在第一数据通路上接收标准图案数据；

在第二数据通路上接收自定义图案数据；

将标准图案数据和自定义图案数据重采样并合并以形成合并的光栅化图案数据，所述光栅化图案数据代表将在辐射敏感层中形成的物理自定义潜像；并且

使用直接写入装置由合并的光栅化图案数据在辐射敏感层中形成自定义潜像。

2.如权利要求1所述的方法，其中，标准图案数据和自定义图案数据都是在对齐的栅格上的光栅化数据，还包括在重采样之前合并标准图案数据和自定义图案数据。

3.如权利要求1所述的方法，其中，将标准图案数据和自定义图案数据重采样至对齐的栅格之后再将它们合并。

4.如权利要求3所述的方法，还包括，使用截然不同的处理逻辑电路并行重采样标准图案数据和自定义图案数据。

5.如权利要求1至4中任一项所述的方法，还包括，当合并的光栅化图案数据的第一部分正在被直接写入装置使用以形成特定的自定义潜像的第一部分时，将重采样以及合并应用于特定自定义潜像图案数据的第二部分。

6.如权利要求1至5中任一项所述的方法，其中，基板是硅晶片。

7.如权利要求1至5中任一项所述的方法，其中，基板是半导体晶片。

8.如权利要求1至5中任一项所述的方法，其中，基板是电路板。

9.如权利要求1至5中任一项所述的方法，其中，基板是平板显示器。

10.如权利要求1至5中任一项所述的方法，其中，基板是在辊到辊生产中使用的柔性材料。

11.如权利要求1至10中任一项所述的方法，还包括，一次或多次应用接收动作、重采样动作和形成动作，使用自定义潜像在基板上形成有图案的多层，并且使用所述形成有图案的多层形成电子装置。

12.如权利要求1至11任一项所述的方法，其中，自定义数据针对特定批次的基板。

13.如权利要求1至12任一项所述的方法，其中，自定义数据针对特定基板。

14.如权利要求1至13中任一项所述的方法，其中，自定义数据针对特定基板上的特定裸片。