[发明专利]用于封闭开口的门

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于使真空腔室的腔室壁中的开口相对于大气封闭的门，其包括封闭部件、门体以及至少一个倾翻执行器，所述封闭部件安置在至少一个连杆上并且所述封闭部件可以在打开位置、中间位置与闭合位置之间调整，在所述打开位置中封闭部件释放开口，在所述中间位置中封闭部件覆盖开口但是从包围开口的底座中升起来，在所述闭合位置中封闭部件压紧在底座上；所述门体承载有至少一个连杆以及所述封闭部件，并且所述门体为了调整封闭部件在所述中间位置与闭合位置之间可以相对于腔室壁围绕倾翻轴线倾翻；所述倾翻执行器具有内部的空腔，可以将压缩气体导入到所述空腔中以使门体围绕倾翻轴线倾翻。

背景技术

以不同的实施例已知用于真空密封地封闭真空腔室中的开口的门。这种门例如用于将工件引入到闸门室(Schleusenkammer)或者说装载闸室(Load-Lock-Kammer)中，在抽空真空腔室后将工件从闸门室输送到另一个腔室，在所述另一个腔室中在真空条件下执行加工步骤。

例如由US 6，056，266已知一真空门。为了使封闭部件压紧到围绕开口的底座上，从封闭部件的拉回的打开位置开始执行L形运动，在该打开位置中封闭部件完全释放开口。在此执行的调整行程的第一区段中封闭部件通过第一驱动装置平行于开口或底座的平面移动，直到封闭部件覆盖开口，但是还从底座中升起。在调整行程的第二区段中封闭部件通过第二驱动装置垂直于开口或底座的平面移动，直到封闭部件压紧到底座上并且通过以密封面挤压的密封部来真空密封地封闭开口。第一和第二驱动装置由活塞气缸单元形成。为了对于封闭部件的合乎逻辑的L形运动形成顺序控制，活塞气缸单元的在打开方向和闭合方向上作用的活塞面是不同大小的。在闭合方向上作用的活塞面持续地加载驱动活塞气缸单元的压缩空气的系统压力。当门要从打开状态开始关闭时，则第一和第二驱动装置在打开方向上作用的活塞面处于无压力状态，也就是说相应的气缸室进行排气。当门要从其闭合位置开始打开时，则在打开方向上作用的活塞面加载压缩空气的系统压力。为了顺序正确地在打开和关闭门时执行L形运动，只需唯一的分配阀（Schaltventil）。

例如由US 6,899,316 B2，US 2007/0272888 A1和US 6,916,009 B2已知其它的真空门，其中封闭部件在打开和关闭真空门时执行L形运动。

由DE 196 33 798 A1已知一种开头提到的类型的真空门，其中同样以上述方式实现沿着调整行程的第一区段的调整。为了使封闭部件从覆盖开口的、但是从底座中升起的位置压紧到底座上，在这里门的门体相对于真空腔室的具有开口的腔室壁可倾翻地支承，由门可移动地引导连杆，在连杆上固定封闭部件。利用活塞气缸单元使门体围绕倾翻轴线倾翻，以便使封闭部件压紧到底座上并且从底座中升起。为了完全打开门，通过活塞气缸单元轴向移动连杆这种方式，拉回在底座中升起的封闭部件。

由WO 2009/070824 A1已知一种真空阀，其中也描述了作为真空门的使用。在此封闭部件也设置在真空腔室外部并且用于封闭腔室壁中的开口。仅仅利用一个驱动装置（它作为执行器可以具有两个活塞气缸单元）就可以打开和关闭封闭部件，由驱动装置轴向移动连杆，在连杆上安置封闭部件。从释放位置出发，在该位置中封闭部件完全释放开口，封闭部件首先平行于开口或者说平行于包围开口的底座的平面移动，直到封闭部件抵靠到导向部件上，所述导向部件布置在开口两侧并且具有与底座的平面成角度的导向面。通过这个导向面使封闭部件通过调整行程的末端区段在到达其闭合位置之前与底座的平面成角度地移动，直到封闭部件贴靠到底座上并且密封部压紧到密封面上。

由US 6,471,181 B2已知阀板在阀杆上的固定，其中阀板可以围绕轴线倾翻，该轴线与阀杆轴线成直角。

由US 2007/0290157 A1已知一种真空阀，其中封闭单元包括用于封闭阀孔的阀板。在封闭单元内部布置调整活塞，在所述调整活塞上安置顶杆，所述顶杆支撑在阀壳体上以将阀板压紧到阀座上。封闭单元的至少一个工作室由薄膜密封部限定，所述工作室可以加载压缩气体以移动调整活塞。

发明内容

本发明的目的在于，提供一种开头提到的类型的真空门，它简单而且成本低廉地进行构造。

该目的按照本发明通过具有权利要求1的特征的门得以实现。