[发明专利]用于封闭开口的门

权利要求书

1. 用于使真空腔室（4）的腔室壁（3）中的开口（2）相对于大气封闭的门，其包括

封闭部件（1），所述封闭部件安置在至少一个连杆（9，9’，9”）上，并且所述封闭部件能够在打开位置、中间位置以及闭合位置之间调整，在所述打开位置中所述封闭部件释放开口（2），在所述中间位置中所述封闭部件覆盖开口（2）但是从包围开口（2）的底座（7）中升起来，在所述闭合位置中所述封闭部件压紧到所述底座（7）上；

门体（10），所述门体承载有至少一个连杆（9，9’，9”）和所述封闭部件（1），并且所述门体为了在所述中间位置与所述闭合位置之间调整所述封闭部件（1）能够相对于所述腔室壁（3）围绕倾翻轴线（20）倾翻；以及

至少一个倾翻执行器（25，25’，26，26’），所述倾翻执行器具有内部空腔（27），能够将压缩气体导入到所述空腔中，以使所述门体（10）围绕倾翻轴线（20）倾翻，

其特征在于，所述倾翻执行器（25，25’，26，26’）的至少一个限定所述倾翻执行器（25，25’，26，26’）的内部空腔（27）的壁（39）至少在其伸展部的区段上弹性地和/或柔性地构造，并且支撑在所述门体（10）的接触面（38）上和/或支撑在所述腔室壁（3）或者固定在所述腔室壁（3）上的固定零件（21）的接触面（37）上。

2. 按权利要求1所述的门，其特征在于，所述倾翻执行器（25，26）的内部空腔完全由弹性地和/或柔性地构造的壁（39）限定，所述壁一方面支撑在所述门体（10）的接触面（38）上、并且另一方面支撑在所述腔室壁（3）或者固定在所述腔室壁（3）上的固定零件（21）的接触面（37）上。

3. 按权利要求2所述的门，其特征在于，所述倾翻执行器（25，26）构造成能够充气的软管。

4. 按权利要求3所述的门，其特征在于，所述以能够充气的软管的形式构造的倾翻执行器（25，26）利用其两个端部布置在所述固定零件（21）中的孔中或者布置在所述门体（10）中。

5. 按权利要求4所述的门，其特征在于，所述固定零件（21）或所述门体（10）在两个孔之间的区域中具有凹部，构造成能够充气的软管的倾翻执行器（25，26）的端部布置在所述孔中，所述软管的中间的区段在所述凹部的区域中支撑在所述固定零件（21）的接触面（37）以及所述门体（10）的接触面（38）上。

6. 按权利要求1所述的门，其特征在于，所述至少在其结构的一段上弹性和/或柔性构成的壁（39）具有弹性的和/或柔性的薄膜，所述薄膜密封地与所述倾翻执行器（25’，26’）的刚性的区段连接，其中所述倾翻执行器（25，’26’）的内部空腔（27）位于所述薄膜与所述倾翻执行器（25’，26’）的刚性的区段之间。

7. 按权利要求6所述的门，其特征在于，所述倾翻执行器（25’，26’）的刚性的区段由所述门体（10）构造。

8. 按权利要求6或7所述的门，其特征在于，在背离所述内部空腔（27）的薄膜表面上安置支撑小板（42），所述支撑小板支撑在所述接触面（37，38）上。

9. 按权利要求1至8中任一项所述的门，其特征在于，所述门体（10）围绕所述倾翻轴线（20）可倾翻地支承在有待固定在所述腔室壁（3）上的固定零件（21）上。

10. 按权利要求1至9中任一项所述的门，其特征在于，在所述倾翻轴线（20）的对置的侧面上各布置一个倾翻执行器（25，26），所述倾翻执行器的至少一个限定所述内部空腔（27）的壁（39）至少在其伸展部的区段上分别弹性地和/或柔性地构造，所述壁支撑在所述门体（10）的接触面（38）上和/或支撑在所述腔室壁（3）或者固定在所述腔室壁（3）上的固定零件（21）的接触面（37）上。

11. 按权利要求1至10中任一项所述的门，其特征在于，所述连杆（9）或所述连杆（9，9’，9”）中的至少一个能够轴向移动地在所述门体（10）中引导。

12. 按权利要求1至11中任一项所述的门，其特征在于，所述至少一个连杆（9，9’，9”）能够由连杆驱动装置（12）在其纵轴线（11）的方向上移动以在所述打开位置与所述中间位置之间调整所述封闭部件（1）。