[发明专利]光电转换装置

权利要求书

1.一种光电转换装置，其特征在于，具备：

基板；

形成于所述基板上的透明电极层；

形成于所述透明电极层上的光电转换单元；和

形成于所述光电转换单元上的背面电极，

其中，所述透明电极层在所述光电转换单元侧的表面具有纹理结构，并且具备：

形成于所述基板侧的第一透明电极层；和

第二透明电极层，其位于比所述第一透明电极层远离所述基板的位置，比所述第一透明电极层密度小。

2.如权利要求1所述的光电转换装置，其特征在于：

所述第一透明电极层在波长550nm以上600nm以下的区域中，比所述第二透明电极层折射率小。

3.如权利要求1或者2所述的光电转换装置，其特征在于：

在所述第一透明电极层含有比所述第二透明电极层浓度高的镓（Ga）。

4.如权利要求1～3中任一项所述的光电转换装置，其特征在于：

所述纹理结构的高低差比所述第二透明电极层的膜厚小。

5.如权利要求1～4中任一项所述的光电转换装置，其特征在于：

所述第二透明电极层与所述第一透明电极层相比，用于产生载流子的掺杂剂浓度低。