[发明专利]反射膜层叠体

说明书

技术领域

本发明涉及反射膜层叠体、以及具有该反射膜层叠体的车辆用灯具、照明器具、光学镜体。

背景技术

纯Ag膜、Ag基合金膜(以下有时称为Ag膜)由于膜厚70nm以上且可见光的反射率高，因而广泛用作使用卤素灯或HID、LED等各种光源的车辆用灯具等的反射膜。然而，Ag膜的Ag原子具有容易集聚的性质，因而存在由于集聚而导致Ag膜的表面变粗、反射率降低的情况。

作为上述Ag原子的集聚的原因，可列举出大气中的硫成分等吸附到Ag膜表面；由于从各种光源放出的热而导致反射膜曝露于80～200℃左右的高温环境下等。

目前，为了解决上述问题，正在开发在Ag膜上形成保护膜而遮蔽Ag膜不受外部环境的影响的技术。例如在专利文献1中公开了由改性有机硅树脂构成的保护膜形成在Ag膜上而成的车辆用灯具。在专利文献2中公开了在Ag膜上具有由ITO等金属氧化物构成的保护膜的反射膜。在专利文献3中公开了钛膜或钛合金膜的保护膜形成在Ag膜上而成的反射膜。另外，专利文献4和5中公开了在含有Bi等的Ag膜上形成了Si、Al、Ti的金属氧化物层的反射膜。

然而，即使如专利文献1那样地由改性有机硅树脂构成保护膜，也存在硫成分等在树脂中扩散、浸透，或者在高温环境下树脂材料劣化的情况。另外，还存在如专利文献2和3那样地，即使由ITO等金属氧化物、钛膜或钛合金膜构成保护膜，也从其针孔部分侵入硫成分等的情况。其结果是，Ag原子集聚而在Ag膜表面产生大量的白点和变色，存在反射膜的反射率、外观性、商品性等降低的情况。进一步，在专利文献4和5中，虽然作为保护膜形成金属氧化物层，但此时使用由金属氧化物构成的溅射靶材，还存在金属氧化物层形成针孔的情况。

另外，由于在Ag膜上形成保护膜，因而存在Ag膜的高反射率降低的情况。

因此，在打算用保护膜防止Ag膜的反射率降低的情况下，作为保护膜所要求的特性，可列举出保护膜不易使Ag膜高反射率降低；保护膜自身具有优异的耐硫化性、耐热性；硫成分等不在保护膜中扩散、浸透；以及无针孔。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2000-106017号公报

专利文献2：日本特开2006-98856号公报

专利文献3：日本特开2008-191528号公报

专利文献4：日本特开2008-233894号公报

专利文献5：日本特开2009-98650号公报

发明内容

发明所要解决的问题

本发明是在如上所述的状況下完成的，本发明的目的在于提供使用Ag膜而构成的反射膜层叠体，其具有高初期反射率的同时，还具有耐硫化性和耐热性优异、且针孔尽量的少的保护膜，其结果是，不易引起由Ag膜的Ag原子的集聚而导致的反射率的降低。

用于解决问题的方法

能够解决上述问题的本发明的反射膜层叠体，其特征在于，在基体上具有纯Ag膜、或Ag基合金膜作为第1层，在前述第1层上具有选自由Zr、Cr、Nb、Hf、Ta、V、Ni、Mo、W、Al、以及Si组成的组中的1种以上的金属的氧化物膜作为第2层，前述第2层的厚度为0.1～10nm，通过设置前述第2层而带来的反射率的降低被抑制到30％以下。

另外，本说明书中前述“基体上”或“层上”是指包括第1层或第2层被设置在直接上方的情况、或隔着其他膜设置的情况。

本发明的反射膜层叠体优选为前述第1层的平均结晶粒径为100nm以下的形态。另外，优选的实施方式如下：前述第1层为包含0.02原子％以上Bi的Ag基合金膜；进一步为包含0.02原子％以上Ge的Ag基合金膜；进一步为包含0.1～5原子％选自由Au、Pt、Pd、以及Rh组成的组中的1种以上的Ag基合金膜；进一步为包含0.1原子％以上由Cu、Sn、Al、Cr、V、Mo、Ru、Ir、以及Si组成的组中的1种以上的Ag基合金膜；特别是包含0.1原子％以上由Cu、Sn、以及Al组成的组中的1种以上的Ag基合金膜。

本发明的反射膜层叠体优选的实施方式如下：作为前述第2层，具有由Zr、Cr、Nb、以及Ta组成的组中的1种以上的金属的氧化物膜；在前述第2层上，具有等离子体聚合膜或树脂膜作为第3层。