[发明专利]反射膜层叠体有效
| 申请号： | 201180004964.8 | 申请日： | 2011-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN102687044A | 公开（公告）日： | 2012-09-19 |
| 发明（设计）人： | 桂翔生;铃木顺;小林宣裕;佐藤俊树 | 申请（专利权）人： | 株式会社神户制钢所 |
| 主分类号： | G02B5/08 | 分类号： | G02B5/08;B32B15/01;B32B15/04;C23C14/14;C23C14/58;F21V7/22 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 雒运朴 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 反射 层叠 | ||
1.一种反射膜层叠体，其特征在于，
在基体上具有纯Ag膜、或Ag基合金膜作为第1层，
在所述第1层上具有选自Zr、Cr、Nb、Hf、Ta、V、Ni、Mo、W、Al、以及Si中的1种以上的金属的氧化物膜作为第2层，
所述第2层的厚度为0.1～10nm，通过设置所述第2层而带来的反射率的降低为30％以下。
2.根据权利要求1所述的反射膜层叠体，其特征在于，所述第1层的平均结晶粒径为100nm以下。
3.根据权利要求1或2所述的反射膜层叠体，其特征在于，所述第1层为包含0.02原子％以上的Bi的Ag基合金膜。
4.根据权利要求3所述的反射膜层叠体，其特征在于，所述第1层为进一步包含0.02原子％以上的Ge的Ag基合金膜。
5.根据权利要求3或4所述的反射膜层叠体，其特征在于，所述第1层为进一步包含0.1～5原子％的选自Au、Pt、Pd、以及Rh中的1种以上的Ag基合金膜。
6.根据权利要求3至5中任一项所述的反射膜层叠体，其特征在于，所述第1层为进一步包含0.1原子％以上的选自Cu、Sn、Al、Cr、V、Mo、Ru、Ir、以及Si中的1种以上的Ag基合金膜。
7.根据权利要求3至5中任一项所述的反射膜层叠体，其特征在于，所述第1层为进一步包含0.1原子％以上的选自Cu、Sn、以及Al中的1种以上的Ag基合金。
8.根据权利要求1至7任一项所述的反射膜层叠体，其特征在于，作为所述第2层，具有选自Zr、Cr、Nb、Ta、以及Ni中的1种以上的金属的氧化物膜。
9.根据权利要求1至8中的任一项所述的反射膜层叠体，其特征在于，在所述第2层上具有等离子体聚合膜或树脂膜作为第3层。
10.一种权利要求1至9中的任一项所述的反射膜层叠体的制造方法，其特征在于，其包括如下工序：
在基体上形成由纯Ag膜、或Ag基合金膜构成的第1层的工序；
使用由选自Zr、Cr、Nb、Hf、Ta、V、Ni、Mo、W、Al、以及Si中的1种以上的金属构成的溅射靶材，在所述第1层上进行溅射，形成溅射薄膜，接着，在包含氧的气氛中使所述溅射薄膜氧化，形成所述第2层的工序。
11.一种车辆用灯具，其特征在于，其具有权利要求1至9中的任一项所述的反射膜层叠体。
12.一种照明器具，其特征在于，其具有权利要求1至9中的任一项所述的反射膜层叠体。
13.一种光学镜体，其特征在于，其具有权利要求1至9中的任一项所述的反射膜层叠体。
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