[发明专利]激光加工装置

权利要求书

1.一种激光加工装置，其中，具备：

加工头部，其对被加工物进行激光加工；

载置部，其保持所述被加工物，包括形成有吸附孔的外周载置部和形成有吸附孔且上下升降的多个可动载置部；

XY工作台，其沿X轴方向及Y轴方向驱动所述载置部；

工件按压部，其设置于所述外周载置部，且对所述被加工物的一边中的至少与所述可动载置部的长度方向平行的加工的起点侧的一边进行按压。

2.根据权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，

具备一对工件按压部，其设置于所述外周载置部，至少按压所述被加工物的一边中的与所述可动载置部的长度方向平行的两边。

3.根据权利要求1或2所述的激光加工装置，其特征在于，

在所述工件按压部的与所述被加工物对置的一侧的面上设置有有机物弹性体。

4.根据权利要求3所述的激光加工装置，其特征在于，

所述有机物弹性体形成为线状。

5.根据权利要求3所述的激光加工装置，其特征在于，

所述有机物弹性体形成为以规定间隔离散的点状。

6.根据权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，

具备：在所述工件按压部的中央部分成为开闭的支点的铰链部、对所述工件按压部的两端向所述被加工物侧进行加压的加压部。