[实用新型]锯和具有金刚石涂层的锯切元件

说明书

技术领域

本实用新型的实施例涉及对工件进行锯切的锯所用的涂覆金刚石的元件及制造该元件的方法。更具体地，涉及用于锯的涂覆金刚石的线。 

背景技术

线锯用于切割工件，例如使用线锯进行勾划(cropping)、矫方(squaring)和晶片切片(wafering)来切割硅工件。线锯还用于切割其它材料。 

线锯中可以使用不同种类的线，例如与浆料中的碳化硅颗粒结合使用的线，以及通常与冷却剂结合使用的金刚石线。一般地，例如碳化硅或金刚石之类的硬材料研磨工件以产生切割。典型地，涂覆金刚石的线包括钢芯，其在表面上涂覆(分别嵌入)金刚石颗粒。金刚石颗粒不形成均匀层，而是从钢的表面略微突出，这是该线用于锯切时的研磨力的成因的一个主要因素。 

在切割期间，线沿其长度方向(水平地)迅速移动，并且工件通过工件供应板沿基本上与线的快速移动方向垂直的切割方向相对较慢地移动。线作用在工件上的垂直力从而沿切割方向施加，并且工件作用在线上的反作用力使线沿着与切割方向相反的方向变形或弯曲。 

通常的目的是增大切割速度，例如通过在线锯中更快地移动线，或通过增大将线按压在被锯的物品上的力。这些手段类似地需要提高线的稳定性以保持对破坏的抵抗性。然而，特别是锯切相对昂贵的用于半导体的硅时，减小线的直径以减小切割损失也是一个目的。 

鉴于上述，希望具有这样的锯切元件：避免传统的表面嵌有金刚石的钢锯线的所述不足。 

实用新型内容

根据实施例，提供了一种用于锯的锯切元件。所述元件包括：芯部和连续的金刚石外层。芯部包括金属。锯切元件还包括位于芯部和金刚石外层之间的碳化物层。芯部是线。线的直径是100μm或更小。连续的外层的平均厚度为50μm或更小，并且其中，通过化学气相沉积来优选地设置连续的外层。连续的外层的平均表面粗糙度为5μm至30μm。 

根据另一个实施例，提供了一种锯。所述锯包括：框架，安装到所述框架的锯切元件，其中，所述元件包括：芯部和连续的金刚石外层。其中，芯部是线或带。 

根据另一个实施例，提供了一种制造锯切元件的方法。所述方法包括以下步骤：提供芯部，并且在所述芯部上沉积连续的金刚石外层。 

根据另一个实施例，提供了在锯切处理中锯切元件的使用。使用的锯切元件包括：芯部和连续的金刚石外层。 

附图说明

以可以详细理解本实用新型的上述特征的方式，参照实施例可以得到对以上概括的本实用新型的更具体的描述。关于本实用新型的实施例的附图描述如下： 

图1示出根据实施例的锯切元件的示意截面图； 

图2示出根据实施例的另一个锯切元件的示意截面图； 

图3示出根据实施例的另一个锯切元件的示意性立体前视图； 

图4示意性示出根据实施例的线锯； 

图5示意性示出根据实施例的锯切元件的截面侧视图； 

图6示出制造根据实施例的锯切元件的沉积腔室。 

具体实施方式

本文中，线锯装置、线锯切装置和线切割装置可互换地使用。本文中，工件支撑板和工件供应板可互换地使用。本文中，术语锯切和切割可互换地使用，晶片切割线锯和切片机(waferer)可互换地使用。本文中， 工件可以包括一个或多个单独的件，例如多个半导体件或块。本文中，线锯可以使用单线、多线、一排或多排的单线或多线、一个或多个线构成的一个或多个网进行切割，线可以指多根线。本文中，传感器还可以执行传感以外的功能，例如超声传感器可以是超声换能器，反之亦然，从而超声传感器可以即产生又检测超声的脉冲和波。本文中，短语“关于”，“针对”和“相对”可互换地使用。本文中，物体上“连续的涂层”指的是完全并相干地覆盖被涂覆的物体的层，即没有间隙(除在刻意指定的位置以外)。这例如可以通过检查化学物质是否即使在存在涂层的情况下仍与芯部发生反应，或通过光学检验，来进行测试。本文中使用的“连续”不一定包括具有均匀厚度的涂层。因此具有不同厚度及/或表面粗糙度的层或涂层可以是连续的。本文中，“金刚石”层可以包括质量比达30％的其它元素，并且仍被认为是“金刚石”。 

现在详细参照本实用新型的各实施例，每个图中示出本实用新型的一个或多个示例。每个示例以解释的方式提出，并不旨在限制。例如，作为一个实施例的一部分描述或示出的特征可以用于其它实施例或与其它实施例一起使用以产生别的实施例。本实用新型旨在包括这样的改变和变化。