[实用新型]宝石炉真空系统

说明书

技术领域

本实用新型属于物质生长炉技术领域，具体涉及一种宝石炉真空系统。

背景技术

LED用蓝宝石晶体材料化学式为α-Al₂O₃，属六方晶体，在室温下密度为3.98g/cm³，属于熔点很高的难熔氧化物晶体。Al₂O₃晶体具有宽的透光范围，从真空紫外、可见光、远红外，一直到中红外均具有较高的光透过性，具有高机械强度，高温耐熔性，膨胀系数小，导热率大，良好的化学稳定性，耐辐射性及低摩擦系数等综合性能，是优良的激光基质材料及各种光学元件和红外军事装置、卫星空间技术、高强度激光的窗口材料，在微电子学、光学、量子电子学、计算机、照明设施、发光二极管以及其他科学技术领域得到广泛应用。

制备LED用蓝宝石晶体有多种方法，微拉旋转泡生法因其能综合泡生法和微拉法的优点，因此优先在工业上应用。该方法是晶体在宝石炉(单晶炉)内完成晶体长晶制备过程。本实用新型是宝石炉的组件之一，它主要是将炉内工作室抽到高真空状态。

发明内容

本实用新型提供一种宝石炉真空系统，其操作方便，结构紧凑，占用空间小，便于安装、维修。

本实用新型采用的具体技术方案是：

一种宝石炉真空系统，包括真空泵，其特征是，真空泵依次连接第二连接管、第一电磁阀、第一连接管和连接弯头，连接弯头一端与宝石炉连接，连接弯头另一端连接扩散泵；连接弯头和扩散泵之间设置电动闸板阀，扩散泵上还设有第三连接管通过第二电磁阀与第二连接管连接。

连接弯头上还设有真空表。

本实用新型的优点是：操作方便，结构紧凑，占用空间小，便于安装、维修。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图中，1-第一电磁阀，2-第一连接管，3-连接弯头，4-真空表，5-电动闸板阀，6-第二电磁阀，7-第二连接管，8-真空泵，9-第三连接管，10-扩散泵。

具体实施方式

如图1所示，一种宝石炉真空系统，包括真空泵8，真空泵8依次连接第二连接管7、第一电磁阀1、第一连接管2和连接弯头3，连接弯头3一端与宝石炉连接，连接弯头3另一端连接扩散泵10；连接弯头3和扩散泵10之间设置电动闸板阀5，扩散泵10上还设有第三连接管9通过第二电磁阀6与第二连接管7连接。连接弯头3上还设有真空表4。

本实用新型在使用时，首先将第二电磁阀6和电动闸板阀5关闭，开启真空泵8，通过连接弯头3和第一连接管2、第二连接管7，将宝石炉内抽到低真空状态，达到设定数值后，再将第一电磁阀1关闭，开启第二电磁阀6和电动闸板阀5，启动扩散泵10，经过连接弯头3、电动闸板阀5、第二连接管7、真空泵8将宝石炉内抽到高真空状态，达到工艺要求。