[实用新型]宝石炉真空系统有效
| 申请号： | 201120534161.0 | 申请日： | 2011-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN202430336U | 公开（公告）日： | 2012-09-12 |
| 发明（设计）人： | 陈卫国;周磊;沈春艳;李瑞莲;于爱东 | 申请（专利权）人： | 山东紫晶光电新材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/20 | 分类号： | C30B29/20;C30B35/00;C30B15/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 255086 山东省淄博市高新区北辛路*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 宝石 真空 系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种宝石炉真空系统，包括真空泵，其特征是，真空泵依次连接第二连接管、第一电磁阀、第一连接管和连接弯头，连接弯头一端与宝石炉连接，连接弯头另一端连接扩散泵；连接弯头和扩散泵之间设置电动闸板阀，扩散泵上还设有第三连接管通过第二电磁阀与第二连接管连接。
2.根据权利要求1所述的宝石炉真空系统，其特征是，连接弯头上还设有真空表。
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