[实用新型]一种气相沉积用多层制品支架

权利要求书

1.一种化学气相沉积用多层制品支架，其特征在于包括由圆套筒、布气盘和支杆组成的单元层；所述单元层的结构是布气盘置于圆套筒上，支杆直立固定在布气盘上用于支撑待涂基板，在一个单元的布气盘上放置另一个单元层的圆套筒；其中，所述圆套筒壁的上部对称设有两个凹口便于气体流通；所述支杆有一尖端。

2.如权利要求1所述的多层制品支架，其特征在于，圆套筒外径与布气盘直径相同。

3.如权利要求1所述的多层制品支架，其特征在于，所述布气盘为设有通孔的石墨圆盘。

4.如权利要求1所述的多层制品支架，其特征在于，所述圆套筒高度为支杆固定在布气盘上支撑基板后，基板顶部距离另一层布气盘20-50mm。

5.如权利要求1所述的多层制品支架，其特征在于，所述支杆为钨针。

6.如权利要求1所述的多层制品支架，其特征在于，所述圆套筒为石墨材质，壁厚6～8mm。

7.如权利要求1所述的多层制品支架，其特征在于，所述圆套筒壁上部的凹口形状为弧形、长方形、方形或锥形。

8.如权利要求1所述的多层制品支架，其特征在于，所述多层基板支架由3～5个单元层组成。

9.一种化学气相沉积反应室，包括权利要求1-8任一项所述的多层制品支架和反应室腔体，所述的多层制品支架置于腔体内进气口上的进气布气板上，进气口位于反应室底部，出气口与进气口相对位于反应室的顶部。