[实用新型]一种三氯氢硅提纯尾气回收装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种三氯氢硅提纯尾气回收装置。

背景技术

三氯氢硅是合成有机硅的重要中间体，也是制备多晶硅的主要原料。制备三氯氢硅比较成熟的工艺是采用金属硅粉和气体氯化氢制备，其主要流程包括：氯化氢合成、三氯氢硅合成、三氯氢硅分离提纯等主要工序。

三氯氢硅制备过程中分离提纯工序产生的尾气主要成分是三氯氢硅、四氯化硅和少量氢气，其处理方法是国内业界的热点话题之一，现有技术中一股采用尾气一水喷淋中和处理法、活性炭吸附法、气液交换法等。其不足之处是：这些尾气的处理都没有很好的回收利用这些成份，而总是将部分物质排放至大气，影响环境。

实用新型内容

本实用新型其目的就在于提供一种三氯氢硅提纯尾气回收装置，能回收提纯尾气中的物资，提高了产量节省了成本，经济效益显著，且不排放废气、废液。

实现上述目的而采取的技术方案，包括尾气收集罐，所述的尾

气收集罐前端连接水冷凝器，水冷凝器进口连接提纯尾气管路，所述尾气收集罐出口经压缩机连接高压冷凝器和回收料液罐。

与现有技术相比本实用新型具有以下优点。

1)本实用新型回收了提纯尾气中的物资，提高产量节省成本，经济效益显著。

2)本实用新型不排放废气、废液。

附图说明

下面结合附图对本实用新型作进一步详述。

附图为本装置结构原理示意框图。

图中，1-水冷凝器，2-尾气收集罐，3-压缩机，4-高压冷凝器，5一回收料液罐。

具体实施方式

本装置包括尾气收集罐2，如附图所示，所述的尾气收集罐2前端连接水冷凝器1，水冷凝器1进口连接提纯尾气管路，所述尾气收集罐2出口经压缩机3连接高压冷凝器4和回收料液罐5。

实施例，本装置采用高压冷凝进行回收的方法，可完全处理回收尾气中的三氯氢硅和四氯化硅，将回收的三氯氢硅和四氯化硅重新进入生产系统进行分离获得产品，同时将氢气回收后进入生产系统，兼顾了经济效益和环保效益。

如附图所示，提纯分离生产过程中1水冷凝器中冷凝不来的气体为提纯尾气，大量提纯和分离尾气通过管道统一进入2尾气收集罐， 然后经小型压缩机3将收集到的低压尾气变成高压尾气。通过压力的升高，降低了气体的液化点，高压尾气进入高压冷凝器4将尾气中的大部分三氯氢硅和四氯化硅进行冷凝成料液后进入料液回收罐5，料液回收罐5中的料液继续进入生产系统的分离系统，将再次进行分离得到成品三氯氢硅和四氯化硅，从而达到回收再利用的目的。