[实用新型]一种三氯氢硅提纯尾气回收装置有效
| 申请号： | 201120505356.2 | 申请日： | 2011-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN202398133U | 公开（公告）日： | 2012-08-29 |
| 发明（设计）人： | 丁建峰 | 申请（专利权）人： | 诺贝尔（九江）高新材料有限公司 |
| 主分类号： | B01D5/00 | 分类号： | B01D5/00;C01B33/107 |
| 代理公司： | 南昌新天下专利商标代理有限公司 36115 | 代理人： | 施秀瑾 |
| 地址： | 332500 江*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 三氯氢硅 提纯 尾气 回收 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种三氯氢硅提纯尾气回收装置，包括尾气收集罐（2），其特征在于，所述的尾气收集罐（2）前端连接水冷凝器（1），水冷凝器（1）进口连接提纯尾气管路，所述尾气收集罐（2）出口经压缩机（3）连接高压冷凝器（4）和回收料液罐（5）。
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