[实用新型]1米立式接触式干涉仪

说明书

技术领域

本实用新型涉及光学测量仪器，尤其涉及一种1米立式接触式干涉仪。 

背景技术

在(100～1000)mm大量块修理中，测量手段是直接影响量块确定等级和使用效率的关键测量设备。按国标要求，测量大量块应使用1米测长机进行测量。由于测长机价值昂贵，目前一般的科研生产单位无法满足。由于量块修理市场需求量大。因此量块修理中的测量方法，是目前急需解决的关键性问题。在日常精密测量工作中经常遇到大尺寸、高精度零件的测量，由于零件形状特殊，测长机上无法安装。因此大尺寸特殊形状的零件测量，同样缺乏相应的测量手段。 

发明内容

为了解决对于现有的大量块采用一般测量仪器无法测量，而测长机又非常昂贵的技术问题，本实用新型提供一种1米立式接触式干涉仪，解决了量块修理中的测量方法的缺失和大尺寸、高精度特殊形状的零件无法测量的尴尬。 

本实用新型的技术解决方案： 

1米立式接触式干涉仪，其特殊之处在于：包括基座、光学系统、探头组件、工作台以及调节组件，所述探头组件包括探头支架以及固定在探头支架上的探头，所述光学系统与探头支架固定连接，所述探头正对工作台安装，所述调节组件包括双立柱、丝杠、设置在双立柱上的滑块、设置在丝杠一端的旋转手柄以及设置在滑块上的锁紧螺钉，所述旋转手柄驱动丝杠带动滑块沿双立柱运动，所述探头支架与滑块固定连接。 

上述调节组件还包括精调螺母3和细调锁紧螺钉2，所述精调螺母设置在探头和探头支架之间，所述细调锁紧螺钉设置在探头支架上。 

上述光学系统包括沿光学传播方向依次设置的光源1、聚光镜2、滤光片3以及分光镜4，分光镜4将入射光分成两路分别投射在互相垂直的第一反光镜6和第二反光镜7上，第一反光镜6和分光镜4之间设置有补偿镜5，沿第一反光 镜6的光路依次设置有测量杆以及被测件，沿第二反光镜7的光路依次设置有物镜8、分划板9以及目镜10。 

上述工作台下方设置有三个用于调节工作台的工作面以及探头测量轴线的垂直度的旋转螺母。 

上述基座底部设置有弹性橡胶。 

本实用新型所具有的优点： 

1、1米立式接触式干涉仪具有接触式干涉仪的测量精度。扩大了测量范围至1000mm。通过设计仪器工作台的形状和精度，消除了该仪器“探头”对“工作台”的“点”对“面”的测量与测长机“探头”对“探头”的“点”对“点”的不同的测量方式，保证了该仪器具有大范围高精度测量的技术特点。 

2、由于该仪器的测量精度为万分之一，振动会造成仪器无法读取测量数据的情况。本实用新型采用了特殊的减震方法，可以有效的避免振动对仪器测量的影响。 

3、测量范围可达到1000mm高度尺寸范围的任意尺寸的测量。克服了大范围、高精度测量的技术难题。 

4、工作台设计为可调工作台，调整范围2mm，可方便地调整探头轴线与工作台的垂直性。 

5、本实用新型1米接触式干涉仪具有原理、结构简单，精度高，使用方便等特点。 

附图说明

图1为本实用新型的1米立式接触式干涉仪的结构示意图； 

图2为本实用新型光学系统示意图； 

其中附图标记为：1-光源，2-聚光镜，3-滤光片3，4-分光镜，5-补偿镜，6-第一反光镜，7-第二反光镜，8-物镜，9-分划板，10-目镜，11-轴，12-测量杆，13-测帽，14被测件，21-光学系统，22-细调锁紧螺钉，23-精调螺母，231-探头，232-探头支架，24-工作台，25-旋转手柄，26-锁紧螺钉，27-双立柱，28-减震底座，29-丝杠，210-滑块。 

具体实施方式

1米立式接触式干涉仪，包括光学系统21、探头组件、工作台24以及调节 组件，探头组件包括探头支架232以及固定在探头支架232上的探头231，光学系统21与探头支架232固定连接，探头231正对工作台24安装，调节组件包括双立柱27、丝杠29、设置在双立柱27上的滑块、设置在丝杠一端的旋转手柄以及设置在滑块210上的锁紧螺钉26，旋转手柄25驱动丝杠带动滑块沿双立柱运动，探头支架与滑块固定连接。 

调节组件还包括精调螺母23和细调锁紧螺钉22，精调螺母设置在探头和探头支架之间，细调锁紧螺钉设置在探头支架上。工作台下方设置有三个旋转螺母。 

工作台下方设置有减震基座，基座使用稳固的结构并加以配重，底角支撑部分使用弹性适当的橡胶，以减小振动对仪器测量时读数的影响，以保证测量数据的可靠性。