[实用新型]1米立式接触式干涉仪有效

专利信息
申请号: 201120496992.3 申请日: 2011-12-02
公开(公告)号: CN202522192U 公开(公告)日: 2012-11-07
发明(设计)人: 朱敬华;任和汉 申请(专利权)人: 西安航天计量测试研究所
主分类号: G01B9/02 分类号: G01B9/02
代理公司: 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 代理人: 张倩
地址: 710100 *** 国省代码: 陕西;61
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摘要:
搜索关键词: 立式 接触 干涉仪
【权利要求书】:

1.1米立式接触式干涉仪,其特征在于:包括基座、光学系统、探头组件、工作台以及调节组件,所述探头组件包括探头支架以及固定在探头支架上的探头,所述光学系统与探头支架固定连接,所述探头正对工作台安装,所述调节组件包括双立柱、丝杠、设置在双立柱上的滑块、设置在丝杠一端的旋转手柄以及设置在滑块上的锁紧螺钉,所述旋转手柄驱动丝杠带动滑块沿双立柱运动,所述探头支架与滑块固定连接。

2.根据权利要求1所述的1米立式接触式干涉仪,其特征在于:所述调节组件还包括精调螺母(3)和细调锁紧螺钉(2),所述精调螺母设置在探头和探头支架之间,所述细调锁紧螺钉设置在探头支架上。

3.根据权利要求1或2所述的1米立式接触式干涉仪,其特征在于:所述光学系统包括沿光学传播方向依次设置的光源(1)、聚光镜(2)、滤光片(3)以及分光镜(4),分光镜(4)将入射光分成两路分别投射在互相垂直的第一反光镜(6)和第二反光镜(7)上,第一反光镜(6)和分光镜(4)之间设置有补偿镜(5),沿第一反光镜(6)的光路依次设置有测量杆以及被测件,

沿第二反光镜(7)的光路依次设置有物镜(8)、分划板(9)以及目镜(10)。

4.根据权利要求3所述的1米立式接触式干涉仪,其特征在于:所述工作台下方设置有三个用于调节工作台的工作面以及探头测量轴线的垂直度的旋转螺母。

5.根据权利要求4所述的1米立式接触式干涉仪,其特征在于:所述基座底部设置有弹性橡胶。 

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