[实用新型]水气分离装置及排放装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种水气分离装置及排放装置。

背景技术

在半导体车间，因工艺要求安装有大量的排放装置，以抽走机台生产过程产生的废气，保证工作环境的安全和洁净。

具体请参阅图1，现有的排放装置，包括“T”型管路110、排风管路120和排水管路130，所述“T”型管路110具有水平端111、上端112和下端113，所述“T”型管路110的水平端111接机台的排风口(图1中未示意)，所述“T”型管路110的上端112接所述排风管路120，所述“T”型管路110的下端113接所述排水管路130。

部分工艺机台例如研磨机台和酸槽，排气中含有大量腐蚀性液态和水气混合物。由于现有的排放装置直接通过“T”型管路110连接排水管路130与排风管路120，因此不能对机台的排风口出来的废气进行有效的水气分离，使得大量腐蚀性液态和水气混合物被吸入排风管路120中，加快了排风管路120的腐蚀。

据统计，大约运行五年，便陆续出现排风管路120被腐蚀出现孔洞现象。现在的处理方法：对轻微的进行补漏，对严重的更换新的排风管路120。因而，给公司稳定生产带来影响，更花去了大量费用，且不可持续发展。

因此，如何提供一种可以实现有效分离水气的水气分离装置及排放装置是本领域技术人员亟待解决的一个技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种水气分离装置及排放装置，可以实现有效的水气分离，防止排风管路受到腐蚀性的液态和水气混合物侵蚀。

为了达到上述的目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种水气分离装置，包括上管段、下管段、集液网和内锥体，所述上管段的下端和所述下管段的下端相连接，所述上管段和所述下管段的连接端均设置成喇叭形开口，所述集液网安装于所述上管段和所述下管段之间，所述内锥体的锥底安装于所述集液网上，所述内锥体的锥顶向下。

优选地，在上述的水气分离装置中，所述上管段和所述下管段通过法兰连接。

优选地，在上述的水气分离装置中，所述集液网全部采用网状结构，或者，所述集液网上与所述锥底的接触面采用面板，其余部分采用网状结构。

本实用新型还公开了一种排放装置，包括“T”型管路、排风管路和排水管路，所述“T”型管路包括水平端、上端和下端，所述“T”型管路的水平端接机台的排风口，所述“T”型管路的下端接所述排水管路，所述排放装置还包括如上所述的水气分离装置，所述“T”型管路的上端经所述水气分离装置与所述排风管路连接。

优选地，在上述的排放装置中，所述下管段与所述“T”型管路的上端之间设有第一阀门。

优选地，在上述的排放装置中，所述第一阀门分别通过法兰与所述下管段和所述“T”型管路的上端连接。

优选地，在上述的排放装置中，所述上管段与所述排风管路之间设有第二阀门。

优选地，在上述的排放装置中，所述第二阀门分别通过法兰与所述上管段和所述排风管路连接。

本实用新型提供的水气分离装置及排放装置，可以通过内锥体和下管段的喇叭形开口改变气流方向，使得大部分微小的水气混合物撞击内锥体的外表面与下管段的管壁，凝结成较大的液体颗粒，小部分微小的水气混合物撞击集液网，同样凝结成较大的液体颗粒，较大的液体颗粒不能从集液网通过，而是由于重力作用落入下方的排水管路中，从而无需外加吸液填料就可以实现高效、环保、便捷的水气分离，防止排风管路受到具有腐蚀性的水气混合物的侵蚀，不但可以延长排风管路的使用寿命，而且可以避免因维修和更换排风管路导致机台停机。

附图说明

本实用新型的水气分离装置及排放装置由以下的实施例及附图给出。

图1是现有的排放装置的结构示意图。

图2是本实用新型一实施例的水气分离装置及排放装置的结构示意图。

图3是本实用新型一实施例的集液网和内锥体的装配后的俯视图。

图中，110、210-“T”型管路，111、211-水平端，112、212-上端，113、213-下端，120、220-排风管路，130、230-排水管路，240-上管段，250-下管段，260-集液网，270-内锥体，锥顶-271，280-第一阀门，290-第二阀门，201～205-法兰。

具体实施方式

以下将对本实用新型的水气分离装置及排放装置作进一步的详细描述。