[实用新型]水气分离装置及排放装置有效
申请号: | 201120480576.4 | 申请日: | 2011-11-25 |
公开(公告)号: | CN202315559U | 公开(公告)日: | 2012-07-11 |
发明(设计)人: | 刘铁柱 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
主分类号: | B01D45/08 | 分类号: | B01D45/08 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 201203 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 水气 分离 装置 排放 | ||
1.一种水气分离装置,其特征在于,包括上管段、下管段、集液网和内锥体,所述上管段的下端和所述下管段的下端相连接,所述上管段和所述下管段的连接端均设置成喇叭形开口,所述集液网安装于所述上管段和所述下管段之间,所述内锥体的锥底安装于所述集液网上,所述内锥体的锥顶向下。
2.根据权利要求1所述的水气分离装置,其特征在于,所述上管段和所述下管段通过法兰连接。
3.根据权利要求1所述的水气分离装置,其特征在于,所述集液网全部采用网状结构。
4.根据权利要求1所述的水气分离装置,其特征在于,所述集液网与所述锥底的接触面采用面板,其余部分采用网状结构。
5.一种排放装置,包括“T”型管路、排风管路和排水管路,所述“T”型管路包括水平端、上端和下端,所述“T”型管路的水平端接机台的排风口,所述“T”型管路的下端接所述排水管路,其特征在于,所述排放装置还包括如权利要求1~4中任意一项所述的水气分离装置,所述“T”型管路的上端经所述水气分离装置与所述排风管路连接。
6.根据权利要求5所述的排放装置,其特征在于,所述下管段与所述“T”型管路的上端之间设有第一阀门。
7.根据权利要求6所述的排放装置,其特征在于,所述第一阀门分别通过法兰与所述下管段和所述“T”型管路的上端连接。
8.根据权利要求5所述的排放装置,其特征在于,所述上管段与所述排风管路之间设有第二阀门。
9.根据权利要求8所述的排放装置,其特征在于,所述第二阀门分别通过法兰与所述上管段和所述排风管路连接。
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