[实用新型]平行光曝光机的同向开合装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种开合装置，尤其涉及一种平行光曝光机的同向开合装置。 

背景技术

曝光机即电子束曝光机是集电子光学、电气、机械、真空、计算机技术等于一体的复杂的半导体加工设备。在计算机的控制下，利用聚焦电子束对有机聚合物(通常称为电子抗蚀剂或光刻胶)进行曝光，受电子束辐照后的光刻胶，其物理化学性质发生变化，在一定的溶剂中形成良溶或非良溶区域，从而在抗蚀剂上形成精细图形。 

开合装置是平行曝光机的一个主要部件，目前在平行光曝光的开合系统中采用的是用一个元器件(汽缸)带动开合机构，来实现打开和关闭，这样机构的设计在曝光过程中就会产生曝光不均匀性的后果，如图1所示。因此，有必要对现有的平行光曝光机的同向开合装置进行改进。 

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种平行光曝光机的同向开合装置，能够同时实现不同开合机构的打开和关闭，提高曝光的均匀性和生产率。 

本实用新型为解决上述技术问题而采用的技术方案是提供一种平行光曝光机的同向开合装置，包括底座和汽缸，所述汽缸固定在底座上，所述汽缸通过开合机构和遮光板相连，所述底座上设有通光口，其中，所述汽缸包括第一汽缸和第二汽缸，所述第一汽缸和第二汽缸分别通过开合机构和遮光板相连。 

上述的平行光曝光机的同向开合装置，其中，所述第一汽缸和第二汽缸为无杆汽缸。 

上述的平行光曝光机的同向开合装置，其中，所述遮光板的大小大于通光口的大小。 

本实用新型对比现有技术有如下的有益效果：本实用新型提供的平行光曝光机的同向开合装置，采用第一汽缸和第二汽缸带动各自的开合机构，从而实现不同开合机构的打开和关闭，提高曝光的均匀性和生产率。 

附图说明

图1为现有平行光曝光机的同向开合装置结构示意图； 

图2为本实用新型平行光曝光机的同向开合装置结构示意图。 

图中： 

1底座      2汽缸        3通光口 

4遮光板    5第一汽缸    6第二汽缸 

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的描述。 

图2为本实用新型平行光曝光机的同向开合装置结构示意图。 

请参见图2，本实用新型提供的平行光曝光机的同向开合装置包括底座1和汽缸，所述汽缸固定在底座1上，所述汽缸通过开合机构和遮光板4相连，所述底座1上设有通光口3，其中，所述汽缸包括第一汽缸5和第二汽缸6，所述第一汽缸5和第二汽缸6分别通过开合机构和遮光板4相连。 

本实用新型提供的平行光曝光机的同向开合装置，第一汽缸5和第二汽缸6优选为无杆汽缸；所述遮光板4的大小大于通光口3的大小，以便保证遮光板4能够完全覆盖住通光口，保证曝光效果。 

综上所述，本实用新型提供的平行光曝光机的同向开合装置，采用第一汽缸5和第二汽缸6带动各自的开合机构，从而实现不同开合机构的打开和关闭，提高曝光的均匀性和生产率。 

虽然本实用新型已以较佳实施例揭示如上，然其并非用以限定本实用新型，任何本领域技术人员，在不脱离本实用新型的精神和范围内，当可作些许的修改和完善，因此本实用新型的保护范围当以权利要求书所界定的为准。