[实用新型]平行光曝光机的同向开合装置有效
| 申请号： | 201120475866.X | 申请日： | 2011-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN202339475U | 公开（公告）日： | 2012-07-18 |
| 发明（设计）人： | 牛实利 | 申请（专利权）人： | 无锡旭电科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 平行 曝光 同向 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种平行光曝光机的同向开合装置，包括底座(1)和汽缸，所述汽缸固定在底座(1)上，所述汽缸通过开合机构和遮光板(4)相连，所述底座(1)上设有通光口(3)，其特征在于，所述汽缸包括第一汽缸(5)和第二汽缸(6)，所述第一汽缸(5)和第二汽缸(6)分别通过开合机构和遮光板(4)相连。
2.如权利要求1所述的平行光曝光机的同向开合装置，其特征在于，所述第一汽缸(5)和第二汽缸(6)为无杆汽缸。
3.如权利要求1或2所述的平行光曝光机的同向开合装置，其特征在于，所述遮光板(4)的大小大于通光口(3)的大小。
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