[实用新型]晶片贴合装置有效

专利信息
申请号: 201120461736.0 申请日: 2011-11-18
公开(公告)号: CN202384299U 公开(公告)日: 2012-08-15
发明(设计)人: 石敦智;刘建志;林语尚;谢铭良 申请(专利权)人: 苏州均华精密机械有限公司
主分类号: H01L21/00 分类号: H01L21/00
代理公司: 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 代理人: 马明渡
地址: 江苏省苏州市吴中区目渎镇*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 晶片 贴合 装置
【权利要求书】:

1.一种晶片贴合装置,其应用于将至少一晶粒黏至一基板,其特征在于,该晶片贴合装置包括有:

一机台;

一基板承载装置,其设于该机台的一端,该基板承载装置供该基板设置;

一晶粒供料装置,其设于该机台中,并且相邻于该基板承载装置;

一取放装置,其设于该机台上,该取放装置于该基板承载装置与该晶粒供料装置之间移动;

一用于取像且对位该晶粒供料装置的第一视觉模块,其设于该机台上;以及

一用于垂直取像与对位该基板与该晶粒的第二视觉模块,其设于该机台上,并且位于该基板承载装置的上方。

2.一种晶片贴合装置,其应用于将至少一晶粒黏至一基板,其特征在于,该晶片贴合装置包括有:

一机台;

一基板承载装置,其设于该机台的一端,该基板承载装置供该基板设置;

一晶粒供料装置,其设于该机台中,并且相邻于该基板承载装置;

一能够吸取尺寸0.1毫米至3毫米的晶粒的取放装置,其设于该机台上,该取放装置于该基板承载装置与该晶粒供料装置之间移动;

一用于取像且对位该晶粒供料装置的第一视觉模块,其设于该机台上;以及

一用于垂直取像与对位该基板与该晶粒的第二视觉模块,其设于该机台上,并且位于该基板承载装置的上方。

3.一种晶片贴合装置,其应用于将至少一晶粒黏至一基板,其特征在于,该晶片贴合装置包括有:

一机台;

一基板承载装置,其设于该机台的一端,该基板承载装置供该基板设置;

一晶粒供料装置,其设于该机台中,并且相邻于该基板承载装置;

一取放装置,其设于该机台上,该取放装置于该基板承载装置与该晶粒供料装置之间移动;

一用于取像且对位该晶粒供料装置的第一视觉模块,其设于该机台上;以及

一用于垂直取像与对位该基板与该晶粒,以及能够摄像该晶粒的另一面的第二视觉模块,其设于该机台上,并且位于该基板承载装置的上方。

4.一种晶片贴合装置,其应用于将至少一晶粒黏至一基板,其特征在于,该晶片贴合装置包括有:

一机台;

一基板承载装置,其设于该机台的一端,该基板承载装置供该基板设置;

一晶粒供料装置,其设于该机台中,并且相邻于该基板承载装置;

一能够吸取尺寸0.1毫米至3毫米的晶粒的取放装置,其设于该机台上,该取放装置于该基板承载装置与该晶粒供料装置之间移动;

一用于取像且对位该晶粒供料装置的第一视觉模块,其设于该机台上;以及

一可垂直取像与对位该基板与该晶粒,以及能够摄像该晶粒的另一面的第二视觉模块,其设于该机台上,并且位于该基板承载装置的上方。

5.如权利要求1、2、3或4所述的晶片贴合装置,其特征在于,该取放装置具有一真空吸管,该真空吸管吸取位于该晶粒供料装置的晶粒。

6.如权利要求1、2、3或4所述的晶片贴合装置,其特征在于,进一步具有一基板移动装置,其设于该机台的一端,并且相邻于该基板承载装置。

7.如权利要求6所述的晶片贴合装置,其特征在于,进一步具有一晶舟盒升降装置,其设于该机台的一端,并且相邻于该基板移动装置。

8.如权利要求1、2、3或4所述的晶片贴合装置,其特征在于,进一步具有一点胶模块,其设于该机台,并相邻于该取放装置,该点胶模块具有一动力驱动的点胶杆与一胶盘。

9.如权利要求6所述的晶片贴合装置,其特征在于,该基板移动装置为一动力驱动的取放叉。

10.如权利要求9所述的晶片贴合装置,其特征在于,该基板移动装置具有多个真空吸孔。

11.如权利要求1、2、3或4所述的晶片贴合装置,其特征在于,该基板承载装置具有多个动力驱动的顶柱。

12.如权利要求1、2、3或4所述的晶片贴合装置,其特征在于,该晶粒供料装置具有一晶粒旋转单元,该晶粒旋转单元是将一晶粒旋转一角度。

13.如权利要求12所述的晶片贴合装置,其特征在于,该机台机有一Y轴向,该晶粒供料装置具有一晶粒Y轴移动单元,该晶粒Y轴移动单元将该晶粒沿着该Y轴向移动一距离。

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