[实用新型]具有新结构石墨舟的PECVD设备有效
| 申请号： | 201120459906.1 | 申请日： | 2011-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN202323023U | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | 宋立禄 | 申请（专利权）人： | 青岛赛瑞达电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/458 | 分类号： | C23C16/458 |
| 代理公司： | 山东清泰律师事务所 37222 | 代理人： | 宁燕 |
| 地址： | 266100 山东省青岛市高*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 具有 结构 石墨 pecvd 设备 | ||
【权利要求书】：
1.一种具有新结构石墨舟的PECVD设备，其特征在于它包括硅片、石墨舟、石英管；其中石墨舟设置于石英管内；石墨舟包括若干相互平行的石墨舟片，石墨舟片之间形成凹槽，石墨舟片之间的距离为13mm；硅片设置于凹槽内。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
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C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
