[实用新型]一种电弧离子镀膜设备的引弧杆

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种电弧离子镀膜设备，特别是涉及一种用于电弧离子镀膜设备中连接固定引弧针的引弧杆。

背景技术

在电弧离子镀膜设备中，引弧杆带着其前端的引弧针穿过起密封作用的骨架封胶伸进真空室内，随着引弧针的工作进行，引弧针的温度升高，引弧杆的温度也随之升高，使得引弧杆在工作状态时一直处于高温状态。引弧杆的高温也让其连接的骨架封胶处于高温的状态下，加速了骨架封胶的老化变硬，密封性下降，从而导致真空室真空状态的不稳定性，影响到镀膜质量。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种防止引弧针热传递的引弧杆，其可有效防止安装在引弧杆上的骨架封胶在高温下老化的现象。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种电弧离子镀膜设备的引弧杆，包括杆身，所述杆身内部设有流体流通通道，在杆身上还设有进料孔和出料孔，所述进料孔连通流体流通通道的始端，所述出料孔连通流体流通通道的末端。

进一步作为本实用新型技术方案的改进，所述杆身一端端面上设置有盲孔，所述盲孔内设置有隔片，所述隔片将盲孔分隔为互相连通的第一腔和第二腔，所述第一腔和第二腔构成流体流通通道。

进一步作为本实用新型技术方案的改进，所述杆身设置盲孔的一端还设有密封盖，所述进料孔设置在杆身侧壁上，连通所述第一腔，所述出料孔设置在杆身侧壁上，连通所述第二腔。

进一步作为本实用新型技术方案的改进，所述隔片固定连接于杆身设有盲孔的一端。

进一步作为本实用新型技术方案的改进，所述进料孔和出料孔设置在靠近杆身设有盲孔一端的侧壁上。

本实用新型的有益效果：本实用新型通过在杆身设置流体流通通道，并在杆身设置连通流体流通通道的进料孔和出料孔，可从进料孔向流体流通通道中加入流体，该流体可与工作状态下地引弧杆做热交换，使得引弧杆能工作在较低的温度，防止引弧杆的温度过高影响与其连接的骨架胶封的密封性，保证电弧离子镀膜设备的真空室处于稳定的真空状态。 

本实用新型可作为引弧杆适用于电弧离子镀膜设备中。

附图说明

图1是本实用新型结构示意图；

图2是本实用新型侧视图。

具体实施方式

参照图1和图2，一种电弧离子镀膜设备的引弧杆，包括杆身，所述杆身内部设有流体流通通道，在杆身上还设有进料孔和出料孔，所述进料孔连通流体流通通道的始端，所述出料孔连通流体流通通道的末端。

作为本实用新型优选的实施方式，参照图1和图2，所述杆身1一端端面7上设置有盲孔2，所述盲孔内设置有隔片3，所述隔片3将盲孔2分隔为互相连通的第一腔8和第二腔9，所述第一腔8和第二腔9构成流体流通通道，可向流体流通通道加入水、油或者其他流体，与杆身1作热交换使其保持在较低的温度。

作为本实用新型优选的实施方式，所述杆身1设置盲孔2的一端还设有密封盖4，所述进料孔5设置在杆身1侧壁上，连通所述第一腔8，所述出料孔6设置在杆身1侧壁上，连通所述第二腔9，用密封盖4封闭盲孔2后，在杆身上设置连通第一腔8的进料孔5和连通第二腔9的出料孔6，使得进料孔5、第一腔8、第二腔9和出料孔构成流体流通通道。

作为本实用新型优选的实施方式，所述隔片3固定连接于杆身1设有盲孔2的一端，使隔片3在工作时不发生偏转，其构成的流体流通通道保持畅顺。

作为本实用新型优选的实施方式，所述进料孔8和出料孔9设置在靠近杆身1设有盲孔一端的侧壁上，增加流体流通通道的长度，使杆身1和流体进行充分的热交换，使杆身1保持在较低的温度。

在电弧离子镀膜设备工作时，随着引弧针温度的升高，引弧杆的温度随着升高，可从流体存放容器向进料孔5加入水、油或者其他流体，流体在通过进料腔8和出料腔9时，与引弧杆做热交换，从出料孔6流出，流体经冷却后回到冷媒存放容器，如此循环，形成一个冷却循环回路，使得引弧杆在工作时处于较低的工作温度，减少对与其连接的骨架胶封的密封性，保证电弧离子镀膜设备的真空室处于稳定的真空状态。

当然，本实用新型创造并不局限于上述实施方式，熟悉本领域的技术人员在不违背本实用新型精神的前提下还可作出等同变形或替换，这些等同的变型或替换均包含在本申请权利要求所限定的范围内。