[实用新型]一种电弧离子镀膜设备的引弧杆

权利要求书

1.一种电弧离子镀膜设备的引弧杆，包括杆身，其特征在于：所述杆身内部设有流体流通通道，在杆身上还设有进料孔和出料孔，所述进料孔连通流体流通通道的始端，所述出料孔连通流体流通通道的末端。

2.根据权利要求1所述的电弧离子镀膜设备的引弧杆，其特征在于:所述杆身一端端面上设置有盲孔，所述盲孔内设置有隔片，所述隔片将盲孔分隔为互相连通的第一腔和第二腔，所述第一腔和第二腔构成流体流通通道。

3.根据权利要求2所述的电弧离子镀膜设备的引弧杆，其特征在于: 所述杆身设置盲孔的一端还设有密封盖，所述进料孔设置在杆身侧壁上，连通所述第一腔，所述出料孔设置在杆身侧壁上，连通所述第二腔。

4.根据权利要求3所述的电弧离子镀膜设备的引弧杆，其特征在于:所述隔片固定连接于杆身设有盲孔的一端。

5.根据权利要求4所述的电弧离子镀膜设备的引弧杆，其特征在于:所述进料孔和出料孔设置在靠近杆身设有盲孔一端的侧壁上。