[实用新型]多晶硅还原炉喷嘴有效
| 申请号： | 201120368637.8 | 申请日： | 2011-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN202246083U | 公开（公告）日： | 2012-05-30 |
| 发明（设计）人： | 陶刚义 | 申请（专利权）人： | 江西晶大半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/021 | 分类号： | C01B33/021 |
| 代理公司： | 南昌市平凡知识产权代理事务所 36122 | 代理人： | 徐光熙 |
| 地址： | 330115 江*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 多晶 还原 喷嘴 | ||
【权利要求书】：
1.一种多晶硅还原炉喷嘴，其特征在于：所述喷嘴由喷头、外套筒、炉底盘、螺旋式进气口与喷嘴丝口组成；炉底盘上焊接喷嘴底坐，喷嘴与喷嘴底坐螺丝连接，喷头置于外套筒中间上端，螺旋式进气口与喷嘴丝口沿外套筒螺旋式设置。
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