[实用新型]一种基于可调谐激光吸收技术的痕量气体分析装置

权利要求书

1.一种基于可调谐激光吸收技术的痕量气体分析装置，其特征在于，所述分析装置包括光学模块、流体模块、电子模块和机械封装模块，所述光学模块包括可调谐半导体激光器、中空光导和二极管激光接收器，所述中空光导设置在所述可调谐半导体激光器与所述二极管激光接收器之间，所述流体模块包括采样净化室，所述采样净化室通过第一管道与所述中空光导的末端连接，所述中空光导的首端连接有第二管道以排出气体，所述电子模块包括半导体激光器调谐控制装置、信号处理与分析装置、温度控制装置和雷达通讯装置，所述机械封装模块用以封装上述的各个部件并进行温度控制和机械支持防护。

2.根据权利要求1所述的痕量气体分析装置，其特征在于：所述可调谐半导体激光器采用应用量子级联激光器。

3.根据权利要求2所述的痕量气体分析装置，其特征在于：所述流体模块采用柱形过滤阵列分离大颗粒，采用多孔材料分离小颗粒。

4.根据权利要求3所述的痕量气体分析装置，其特征在于：所述流体模块上还设置有无阀门的压电高频震荡的压力泵。

5.根据权利要求4所述的痕量气体分析装置，其特征在于：所述电子模块还包括第一级温度控制装置和第二级温度控制装置。

6.根据权利要求5所述的痕量气体分析装置，其特征在于：所述第一级温度控制装置采用反馈控制，所述第二级温度控制装置使用前馈加反馈控制。

7.根据权利要求6所述的痕量气体分析装置，其特征在于：所述机械封装模块采用低温共烧陶瓷基片并在其上进行塑封。