[实用新型]一种自动配气系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及配气技术领域，特别涉及一种自动配气系统。

背景技术

配气操作包括流量、浓度、分配、渗透、程序、清扫等等，在实际工业生产中，通常有人工根据相应的参数要求进行配气操作，整个配气过程复杂，效率低下，更重要的是，常常由于人工操作带来较大误差。

传统手动配气方法配气工作不安全，需较为复杂的人工计算，对配气人员的素质要求较高，操控繁琐且人为误差较大，配气成本高，配制出的标准气体精度较差，效率较低，配气管理无法规范等诸多缺点。

目前，迫切需要一种更适合工业应用的配气解决方法，防止由于人工操作带来的误差大、效率低、配气复杂等问题。

实用新型内容

本实用新型提供的一种自动配气系统，以防止由于人工操作带来的误差大、效率低、配气复杂等问题。

本实用新型提供了一种配气系统，包括原料气瓶子系统、充装气瓶、操控平台、自动配气主机、配气台和驱动气体子系统；

自动配气主机通过气路与原料气瓶子系统相连，在操控平台的控制下控制各原料气瓶释放气体进行混合；

配气台通过气路分别与充装气瓶和驱动气体子系统相连接，配气台在驱动气体子系统的驱动下，将自动配气主机混合后的气体充装在充装气瓶中；

操控平台通过专用通讯电缆与自动配气主机相连，操控平台监控并调节自动配气主机内的稀释气体及组份气体的体积流量，实现自动配气。

所述操控平台包括：操控计算机、计算机自动配气系统软件和专用控制卡。

所述原料气瓶子系统包括：分别充装各原料气体的原料气瓶，及与各原料气瓶相连接的减压阀。

所述自动配气主机包括：分别与原料气瓶子系统中各减压阀相连接的电磁截止阀、分别与各电磁截止阀相连接的质量流量控制器MFC、及与各MFC相连接的气体混合室。

所述配气台包括：背压阀、经背压阀与自动配气主机相连接的混气罐、分别与驱动气体子系统和混气罐相连接的气体增压泵。

所述充装气瓶与所述气体增压泵相连接。

所述驱动气体子系统包括：静音式空气压缩机和气体精密过滤子系统，静音式空气压缩机经气体精密过滤子系统与配气台相连接。

所述系统的高压气体管路处安装有高压安全阀，在压力超过预置值时自动卸压。

所述系统的残气通过专门气体管路向室外排空。

本实用新型提供的一种自动配气系统，操控平台对配气方案实行科学化、自动化定制，并以专用通讯电缆与计算机自动配气系统主机相连，最终通过实时监控高精度的质量流量控制器MFC来控制稀释气体及组份气体的体积流量，从而实现动态配气自动化。具备配气精度高、配气安全性高、配气成本低、配气效率高、自动化程度高、稳定性好、性能优越、功能强大等优点，可配制出高质量、高精度的各种标准混合气体。进而达到动态配气工作的配气自动化、方案最优化、操控简单化、效率最大化、误差最小化、管理规范化的目标。本系统解决了传统手动配气方法配气工作不安全，需较为复杂的人工计算，对配气人员的素质要求较高，操控繁琐且人为误差较大，配气成本高，配制出的标准气体精度较差，效率较低，配气管理无法规范等诸多缺点，大大提高了配气工作水平和标准气体的质量。

进一步的，驱动气体和被压缩气体完全分开，确保了被压缩气体的纯净度。

另外，本系统只须有0.5-0.8Mpa普通压缩空气即可驱动增压泵正常可靠地工作，相比电机驱动节能60％以上，更安全，维护更少，寿命更长。

另外，高压气体管路安装有高压安全阀，压力过大时能实现自动卸压，进一步提高了安全性。

另外，因使用质量流量控制器控制流量，在气体压力、温度变化的情况下，流量依然稳定，确保了所配标准混合气体的精度。

再次，所有残气均通过专门气体管路向室外排空，避免了配气工作间的空气受到污染。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例提供的一种自动配气系统结构图。

具体实施方式