[实用新型]一种自动配气系统

权利要求书

1.一种自动配气系统，其特征在于，包括原料气瓶子系统、充装气瓶、操控平台、自动配气主机、配气台和驱动气体子系统；

自动配气主机通过气路与原料气瓶子系统相连，在操控平台的控制下控制各原料气瓶释放气体进行混合；

配气台通过气路分别与充装气瓶和驱动气体子系统相连接，配气台在驱动气体子系统的驱动下，将自动配气主机混合后的气体充装在充装气瓶中；

操控平台通过专用通讯电缆与自动配气主机相连，操控平台监控并调节自动配气主机内的稀释气体及组份气体的体积流量，实现自动配气。

2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述操控平台包括：操控计算机、计算机自动配气系统软件和专用控制卡。

3.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述原料气瓶子系统包括：分别充装各原料气体的原料气瓶，及与各原料气瓶相连接的减压阀。

4.根据权利要求3所述的系统，其特征在于，所述自动配气主机包括：分别与原料气瓶子系统中各减压阀相连接的电磁截止阀、分别与各电磁截止阀相连接的质量流量控制器MFC、及与各MFC相连接的气体混合室。

5.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述配气台包括：背压阀、经背压阀与自动配气主机相连接的混气罐、分别与驱动气体子系统和混气罐相连接的气体增压泵。

6.根据权利要求5所述的系统，其特征在于，所述充装气瓶与所述气体增压泵相连接。

7.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述驱动气体子系统包括：静音式空气压缩机和气体精密过滤子系统，静音式空气压缩机经气体精密过滤子系统与配气台相连接。

8.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述系统的高压气体管路处安装有高压安全阀，在压力超过预置值时自动卸压。

9.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述系统的残气通过专门气体管路向室外排空。