[实用新型]一种光罩检测设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及光罩检测领域，尤其涉及一种光罩检测设备。

背景技术

随着半导体及液晶显示器行业的技术发展，光罩已成为集成电路（Integrated Circuit，IC）、薄膜场效应晶体管（Thin Film Transistor，TFT）、高密度互连（High Density Interconnector，HDI）制造中的重要器具。随着产品的需求增加，光罩应用将越来越广泛，其精度等各项性能指标的要求也越来越高。特别是在半导体制方面，精度从微米提升到纳米级别，使得对光罩制作的品质要求也越来越重要，精度的提升直接产生的就是光罩线宽缩小，而因此，光罩的检查面临更严峻的挑战。

现有技术提供了一种光罩检测设备，其利用移动平台对光罩进行检测时，由于平台结构及尺寸无法满足大尺寸光罩的检测，一般只能检测到光罩70%的区域，边缘区域无法检测。为了对边缘区域进行检测，需要人工将光罩进行旋转后才能进行，在旋转过程中光罩易产生刮伤，并且光罩与设备发生摩擦与碰撞易导致光罩报废。另外，光罩检测设备在进行大尺寸光罩检测后，需要重新记录两个坐标原点及其对应坐标系统，这样在刚发现缺陷时，十分容易由于缺陷坐标乱导致缺陷漏检的现象，增加了出货品质的风险。

实用新型内容

本实用新型实施例所要解决的技术问题在于，提供一种光罩检测设备，以快速准确地对整个光罩进行检测。

为了解决上述技术问题，本实用新型实施例提出了一种光罩检测设备，包括支架台、设置于该支架台台面上的以承载并在水平方向移动光罩的移动平台，以及控制所述移动平台移动的控制装置，所述光罩检测设备还包括：架设于所述支架台上方的支撑臂、通过该支撑臂固定于所述移动平台中部上方且光学物镜分设于该支撑臂两侧的双显微镜机构，以及与该双显微镜机构对应设置的光源。

进一步地，所述支架台的底部设置有口型防震支脚，所述支撑臂通过侧边支架与所述支架台相固定，并且所述支撑臂与侧边支架形成口型防震支架。

进一步地，所述移动平台包括设置于所述支架台台面上的横向平台、活动设置于该横向平台上的纵向平台，以及活动设置于该纵向平台上的操作平台。

进一步地，所述操作平台为透光体，所述光源设置于该透光体对应双显微镜机构的下方。

进一步地，所述横向平台上设置有横向移动导轨，该横向移动导轨上滑设有横向移动滑块，所述纵向平台固设于该横向移动滑块上，所述横向移动滑块通过第一丝杆连接到一横向驱动电机；所述纵向平台上设置有纵向移动导轨，该纵向移动导轨上滑设有纵向移动滑块，所述操作平台固设于该纵向移动滑块上，所述纵向移动滑块通过第二丝杆连接到一纵向驱动电机。

进一步地，所述控制装置与所述横向驱动电机及纵向驱动电机相连，所述控制装置包括控制盒，以及设置于该控制盒上的摇杆及用于设置位移参数的触摸屏。

进一步地，所述支架台由水平面支架及竖直面支架组合而成。

进一步地，所述双显微镜机构包括5个不同倍率的光学物镜单体。

本实用新型实施例通过提供一种光罩检测设备，包括支架台、设置于该支架台台面上的以承载并在水平方向移动光罩的移动平台，以及控制所述移动平台移动的控制装置，所述光罩检测设备还包括：架设于所述支架台上方的支撑臂、通过该支撑臂固定于所述移动平台中部上方且光学物镜分设于该支撑臂两侧的双显微镜机构，以及与该双显微镜机构对应设置的光源，从而，双显微镜机构可同时进行光罩两侧范围的检测，而不用对光罩进行旋转，避免了光罩在旋转过程中的刮伤及报废；另外可统一缺陷坐标系统，保证了光罩缺陷的完全检测及修复，保证了出货品质。

附图说明

图1是本实用新型实施例的光罩检测设备的主视图。

图2是本实用新型实施例的光罩检测设备的俯视图。

图3是本实用新型实施例的光罩检测设备的侧视图。

图4是本实用新型实施例的光罩检测设备中控制装置的结构图。

具体实施方式

下面结合附图，对本实用新型实施例进行详细说明。