[实用新型]一种光罩检测设备

权利要求书

1.一种光罩检测设备，包括支架台、设置于该支架台台面上的以承载并在水平方向移动光罩的移动平台，以及控制所述移动平台移动的控制装置，其特征在于，所述光罩检测设备还包括：架设于所述支架台上方的支撑臂、通过该支撑臂固定于所述移动平台中部上方且光学物镜分设于该支撑臂两侧的双显微镜机构，以及与该双显微镜机构对应设置的光源。 

2.如权利要求1所述的光罩检测设备，其特征在于，所述支架台的底部设置有口型防震支脚，所述支撑臂通过侧边支架与所述支架台相固定，并且所述支撑臂与侧边支架形成口型防震支架。 

3.如权利要求1所述的光罩检测设备，其特征在于，所述移动平台包括设置于所述支架台台面上的横向平台、活动设置于该横向平台上的纵向平台，以及活动设置于该纵向平台上的操作平台。 

4.如权利要求3所述的光罩检测设备，其特征在于，所述操作平台为透光体，所述光源设置于该透光体对应双显微镜机构的下方。 

5.如权利要求3所述的光罩检测设备，其特征在于，所述横向平台上设置有横向移动导轨，该横向移动导轨上滑设有横向移动滑块，所述纵向平台固设于该横向移动滑块上，所述横向移动滑块通过第一丝杆连接到一横向驱动电机；所述纵向平台上设置有纵向移动导轨，该纵向移动导轨上滑设有纵向移动滑块，所述操作平台固设于该纵向移动滑块上，所述纵向移动滑块通过第二丝杆连接到一纵向驱动电机。 

6.如权利要求5所述的光罩检测设备，其特征在于，所述控制装置与所述横向驱动电机及纵向驱动电机相连，所述控制装置包括控制盒，以及设置于该控制盒上的摇杆及用于设置位移参数的触摸屏。 

7.如权利要求1至6中任一项所述的光罩检测设备，其特征在于，所述支架台由水平面支架及竖直面支架组合而成。 

8.如权利要求1至6中任一项所述的光罩检测设备，其特征在于，所述双显微镜机构包括5个不同倍率的光学物镜单体。