[实用新型]湿法清洗设备有效
| 申请号： | 201120330081.3 | 申请日： | 2011-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN202238756U | 公开（公告）日： | 2012-05-30 |
| 发明（设计）人： | 杜亮;李强 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/04 | 分类号： | B08B3/04;B08B13/00;G01N15/00;H01L21/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 湿法 清洗 设备 | ||
【权利要求书】：
1.一种湿法清洗设备，包括外槽，设置于所述外槽内的内槽以及依次连接的第一泵、加热器和过滤器，所述内槽设有喷嘴，所述外槽设有排液口，所述第一泵与所述外槽的排液口连接，所述过滤器与所述内槽的喷嘴连接，其特征在于，所述湿法清洗设备还包括颗粒检测装置，所述颗粒检测装置的输入端通过样品输入管与所述过滤器的输出端连接，所述颗粒检测装置的输出端通过样品输出管与所述内槽的喷嘴连接。
2.如权利要求1所述的湿法清洗设备，其特征在于，所述颗粒检测装置包括冷却器和液体微粒子计数器，所述冷却器的输入端与所述样品输入管连接，所述冷却器的输出端与所述液体微粒子计数器的输入端连接，所述液体微粒子计数器的输出端与所述样品输出管连接。
3.如权利要求2所述的湿法清洗设备，其特征在于，所述液体微粒子计数器包括电磁阀、光谱分析仪和第二泵，所述电磁阀的输入端与所述冷却器的输出端连接，所述光谱分析仪的输入端与所述电磁阀的输出端连接，所述光谱分析仪的输出端与所述第二泵的输入端连接，所述第二泵的输出端与所述样品输出管连接。
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