[实用新型]一种稀土永磁铁真空烧结炉

权利要求书

1.一种稀土永磁铁真空烧结炉，包括烧结装置和与烧结装置连通的真空装置，真空装置与烧结装置之间设置有一个粗抽阀门，其特征在于所述的真空转置由大功率真空泵组和小功率真空泵组并联而成。

2.根据权利要求1所述的稀土永磁铁真空烧结炉，其特征在于所述的粗抽阀门与大功率真空泵组之间串联有两个前级阀门，烧结装置与粗抽阀门之间通过主阀门连接于两个前级阀门之间。

3.根据权利要求2所述的稀土永磁铁真空烧结炉，其特征在于所述的粗抽阀门与主阀门通过一个粗抽阀门连接于前级阀门与大功率真空泵组之间。

4.根据权利要求3所述的稀土永磁铁真空烧结炉，其特征在于所述的烧结装置上设置有氮气充气阀和排气阀。

5.根据权利要求1或2或3或4所述的稀土永磁铁真空烧结炉，其特征在于所述的大功率真空泵组和或小功率真空泵组是由一个罗茨泵、一个机前阀门和一个机械泵串联而成，机前阀门和机械泵之间设置有机械泵放气阀门。