[实用新型]一种用于自动上料机插入硅片工序的石英舟有效
| 申请号: | 201120308813.9 | 申请日: | 2011-08-23 |
| 公开(公告)号: | CN202172085U | 公开(公告)日: | 2012-03-21 |
| 发明(设计)人: | 陈战友;陶俊;杨宁同 | 申请(专利权)人: | 无锡尚德太阳能电力有限公司 |
| 主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/673 |
| 代理公司: | 北京金信立方知识产权代理有限公司 11225 | 代理人: | 黄威;郭迎侠 |
| 地址: | 214028 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 用于 自动 上料机 插入 硅片 工序 石英 | ||
技术领域
本实用新型涉及太阳电池制造领域,尤其涉及一种太阳电池制造工序扩散炉的附属夹具,具体来说涉及一种用于自动上料机插入硅片工序的石英舟,用于固定太阳电池片半成品到扩散炉中进行高温扩散和氧化。
背景技术
目前在进行扩散工序前,太阳电池片半成品基本是通过人工插片方式插入到石英舟内。如图1和图2所示,现在普遍采用的石英舟基本包括相对设置的两个支撑框架10、20,连接设置在两个支撑框架10、20之间的四根石英棒,所述四根石英棒包括对称水平设置且两端分别连接于所述两个支撑框架10、20的上部两侧的两根上部石英棒30、40,以及水平设置且两端分别连接在所述两个支撑框架10、20底部的两根底部石英棒50、60。并且,所述底部石英棒50、60所在平面和所述上部石英棒30、40所在平面平行,且均平行于水平面。如图1所示,所述上部石英棒30、40相对的内侧面上均匀开设有多个倾斜设置的滑槽80,所述底部石英棒50、60的上端面上也对应设置有与所述滑槽80数量相同并且倾斜角度大致相同的插片槽90。因为硅片70(电池片半成品)是易碎品,所以操作员手工插片时可以由一侧小心地将硅片慢慢插入到石英舟中。但整个操作过程中每个硅片需要与上部石英棒30、40上相对应的滑槽80及相对应的插片槽90同时接触,并通过该相对应的滑槽80和插片槽90将硅片定位在石英舟内,在装载硅片70的过程中,当出现硅片70不能完全平行地插入时,卡硅片70的滑槽80或者插片槽90就会把硅片70损坏。而且由于人工操作中的每个步骤均需要缓速操作,增加了装硅片的用时,从而降低了生产效率。
有鉴于上述装载硅片存在的装片效率低、碎片率高的问题,目前在扩散工序中采用自动上下料机在石英舟中装载硅片70,从而节省了人力、提高了生产效率。但现有石英舟不能区分反正,因此需要石英舟两端都有很高的加工精度,导致加工成本较高。而且因为滑槽80和插片槽90均是倾斜设置的,结构适合人工插片,但不适用采用自动上下料机进行插片的工序,如果采用机器插片反而可能造成碎片率提高。此外,现有的滑槽仅仅是沿石英棒的一侧,不利于硅片的插入。因此需提供一种能适应新工序中采用自动上下料机插片的石英舟。
实用新型内容
有鉴于现有技术存在的上述问题,本实用新型的目的在于提供一种用于自动上料机插入硅片工序的石英舟,其不仅适用于人工插片,而且可以采用自动上下料机实现自动插片,减少人工插片的耗时和碎片率,提高生产线的产量。
为了实现上述目的,本实用新型提供的一种用于自动上料机插入硅片工序的石英舟,包括相对设置的两个支撑框架和连接设置在两个支撑框架之间的四根石英棒,所述四根石英棒包括对称水平设置且两端分别连接在所述两个支撑框架的上部两侧的两根上部石英棒和水平设置且两端分别连接在所述两个支撑框架底部的两根底部石英棒,所述底部石英棒所在平面和所述上部石英棒所在平面平行,其中,两根对称设置的所述上部石英棒的相对的内侧面上均匀开设有多个垂直于所述上部石英棒的轴向的滑槽,所述底部石英棒的上端面上设置有与所述滑槽相对应的插片槽,所述插片槽垂直于所述底部石英棒的轴向;其中一个所述底部石英棒上设有供所述自动上料机识别石英舟正面的凸台。
优选地,所述凸台水平伸出所述底部石英棒并垂直于所述底部石英棒。
优选地,所述滑槽包括竖直向下的第一滑槽和设置于所述上部石英棒上半圆与所述第一滑槽连通且相交成一角度的第二滑槽。
优选地,所述第二滑槽的开口宽度大于所述第一滑槽。
优选地,两根所述底部石英棒的下端面上对设有多对支脚。
优选地,所述支撑框架上设置有把手。
优选地,所述支撑框架上设置有多道加强杆。
与现有技术相比较,本实用新型具有以下有益效果:
1、降低了对于石英舟的加工精度的要求,降低了成本。
2、可以结合自动上下料机实现自动插片,进一步减少了人工插片的耗时和碎片率。
3、提高了生产线的产量。
附图说明
图1为现有技术的石英舟的横向剖面视图。
图2为现有技术的石英舟的纵向剖面视图。
图3为本实用新型一个实施例的石英舟的立体结构示意图。
图4为本实用新型一个实施例的石英舟的横向剖面视图。
图5为本实用新型的石英舟的上部石英棒的结构示意图。
图6为图4中C处的沿F-F向的剖视图。
图7为图4中沿A-A向的剖视图。
图8为图4中B-B向的剖面视图。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的





