[实用新型]一种用于自动上料机插入硅片工序的石英舟

权利要求书

1.一种用于自动上料机插入硅片工序的石英舟，包括相对设置的两个支撑框架和连接设置在两个支撑框架之间的四根石英棒，所述四根石英棒包括对称水平设置且两端分别连接在所述两个支撑框架的上部两侧的两根上部石英棒和水平设置且两端分别连接在所述两个支撑框架底部的两根底部石英棒，所述底部石英棒所在平面和所述上部石英棒所在平面平行，其特征在于，

两根对称设置的所述上部石英棒的相对的内侧面上均匀开设有多个垂直于所述上部石英棒的轴向的滑槽，所述底部石英棒的上端面上设置有与所述滑槽相对应的插片槽，所述插片槽垂直于所述底部石英棒的轴向；其中一个所述底部石英棒上设有供所述自动上料机识别石英舟正面的凸台。

2.如权利要求1所述的用于自动上料机插入硅片工序的石英舟，其特征在于，所述凸台水平伸出所述底部石英棒并垂直于所述底部石英棒。

3.如权利要求1所述的用于自动上料机插入硅片工序的石英舟，其特征在于，所述滑槽包括竖直向下的第一滑槽和设置于所述上部石英棒上半圆与所述第一滑槽连通且相交成一角度的第二滑槽。

4.如权利要求3所述的用于自动上料机插入硅片工序的石英舟，其特征在于，所述第二滑槽的开口宽度大于所述第一滑槽。

5.如权利要求1所述的用于自动上料机插入硅片工序的石英舟，其特征在于，两根所述底部石英棒的下端面上对设有多对支脚。

6.如权利要求1所述的用于自动上料机插入硅片工序的石英舟，其特征在于，所述支撑框架上设置有把手。

7.如权利要求1所述的用于自动上料机插入硅片工序的石英舟，其特征在于，所述支撑框架上设置有多道加强杆。