[实用新型]三氯氢硅合成设备

权利要求书

1. 一种三氯氢硅合成设备，包括：

氯化氢储罐（1），用于储存氯化氢气体；

用于三氯氢硅合成反应的合成炉（2），所述合成炉与所述氯化氢储罐连接并从其接收氯化氢气体，在所述合成炉中还加入硅粉，硅粉和氯化氢气体反应生成三氯氢硅、二氯二氢硅和四氯化硅的混合物；

与所述合成炉连接的冷凝器（3），所述冷凝器从合成炉接收反应生成的所述混合物并将所述混合物冷凝；

第一精馏塔（5），所述第一精馏塔的入口与冷凝器相连，所述第一精馏塔接收被冷凝的混合物，用于从被冷凝的混合物中分离出二氯二氢硅；

第二精馏塔（6），所述第二精馏塔的入口与第一精馏塔塔底相连，所述第二精馏塔接收第一精馏塔塔底釜液，用于从其中分离出四氯化硅；

与合成炉相连的汽化器（8），所述汽化器接收通过第一精馏塔分离得到的液态二氯二氢硅、和通过第二精馏塔分离得到的液态四氯化硅，并将液态二氯二氢硅和四氯化硅汽化后返回合成炉。

2. 根据权利要求1所述的三氯氢硅合成设备，其特征在于还包括设置在冷凝器和第一精馏塔之间的冷凝料储罐（4），用于储存冷凝后的混合物和将其输送至第一精馏塔。

3. 根据权利要求1所述的三氯氢硅合成设备，其特征在于还包括设置在第一和第二精馏塔与汽化器之间的氯硅烷储罐（7），该氯硅烷储罐从第一精馏塔接收分离出的二氯二氢硅并从第二精馏塔接收分离出的四氯化硅，并储存所接收的二氯二氢硅和四氯化硅。

4. 根据权利要求1所述的三氯氢硅合成设备，其特征在于，所述第一精馏塔从被冷凝的混合物中在塔顶分离出二氯二氢硅，以及第一精馏塔具有冷凝器，用于将分离出的二氯二氢硅冷凝为液态二氯二氢硅。

5. 根据权利要求4所述的三氯氢硅合成设备，其特征在于，第一精馏塔塔底釜液中包含从被冷凝的混合物中分离出的三氯氢硅和四氯化硅。

6. 根据权利要求1所述的三氯氢硅合成设备，其特征在于，所述第二精馏塔从其塔顶分离出三氯氢硅产品，并从其塔底釜液得到液态四氯化硅。

7. 根据权利要求5或6所述的三氯氢硅合成设备，其特征在于，所述第二精馏塔从被接收的第一精馏塔塔底釜液中在塔顶分离出三氯氢硅产品，并从第二精馏塔塔底釜液得到液态四氯化硅。

8. 根据权利要求1所述的三氯氢硅合成设备，其特征在于，所述冷凝器（3）将未凝结的氯化氢气体送回合成炉或氯化氢储罐。