[实用新型]烘干机有效
| 申请号: | 201120300162.9 | 申请日: | 2011-08-17 |
| 公开(公告)号: | CN202205718U | 公开(公告)日: | 2012-04-25 |
| 发明(设计)人: | 钱文明;罗仕洲;肖方 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/00 | 分类号: | H01L21/00 |
| 代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
| 地址: | 201203 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 烘干机 | ||
1.一种烘干机,包括:具有开口的箱体以及设置在所述箱体开口端的第一活动门和第二活动门,所述第一活动门和第二活动门均与所述箱体滑动连接,其特征在于,还包括用于收集水珠的水珠收集装置,所述水珠收集装置包括底板和挡板,所述底板设置在所述第一活动门远离所述箱体的表面上,且位于该表面靠近所述第二活动门的边缘处,所述挡板的一端与所述底板靠近第二活动门的一端连接,所述挡板的另一端向远离所述第一活动门的方向倾斜。
2.如权利要求1所述的烘干机,其特征在于,所述底板靠近所述第二活动门的一端伸出所述第一活动门。
3.如权利要求1所述的烘干机,其特征在于,所述水珠收集装置还包括与所述底板连接的支板,所述支板与所述第一活动门面向第二活动门的侧表面连接。
4.如权利要求2所述的烘干机,其特征在于,所述底板靠近第二活动门的一端向远离所述箱体的方向倾斜。
5.如权利要求1至4中任意一项所述的烘干机,其特征在于,所述挡板和所述底板的材料为疏水性材料。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





