[实用新型]4片盒单体传输结构

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种基片传输装置，属于自动化检测传输领域，尤其涉及一种4片盒单体传输结构。

背景技术

在半导体集成电路制造行业，特别设计LED生产和太阳能电池芯片的生产过程中，对基片的平整度，翘曲度这些指标有很高的要求，因此经常需要检测基片的平整度与厚度，在这过程中，将基片传输分类的过程就需要额外的。

目前，市场上主要采用的通过人工完成相关的基片检测工作。这主要是因为人工成本低的缘故。

人工检测时，在传输分类过程中难免会造成晶片受到污染，这样增加了次品率，不利于降低成本。

因此，提供一种成本低廉，通过又能自动化传输分类基片的装置就显得尤为重要了。

实用新型内容

本实用新型的目的是避免现有技术中的传输设备成本过高的问题，通过简化结构来降低设备的制造成本，保证设备在提高生产效率的同时，极大降低对晶片污染并提高良品率。

本实用新型公开一种4片盒单体传输结构，包括机架，其中：

4个片盒升降单元，设置在所述机架的一端；

大理石平台，设置在所述机架的另一端；

扫描工作台，设置在所述大理石平台上远离所述片盒升降单元的一端，所述扫描工作台上设置有承片台；

多工位导轨，设置在所述大理石平台上靠近所述片盒升降单元的一端。

上述的传输结构，其中，所述多工位导轨顶部设置有 一旋转机械手。

上述的传输结构，其中，所述4个片盒升降单元呈单列设置在所述多工位导轨的一侧，每一个片盒升降单元与所述多工位导轨之间的距离都相同。

上述的传输结构，其中，所述多工位导轨的导轨方向与所述4个片盒升降单元的排列方向平行。 

上述的传输结构，其中，所述机架上套有一个透明罩体，所述罩体与所述机架接合处密封。

上述的传输结构，其中，所述片盒升降单元包括：

片架升降电机，设置在所述机架里；

片架升降丝杠，底端连接所述片架升降电机，顶端竖直；

片盒，其底端竖直方向上设置有螺纹，连接所述片架升降丝杠。

本实用新型通过设置4个片盒升降机构方便用于分选不同的基片，导轨通过移动，使导轨顶端的机械手靠近所述4个片盒升降机构中的任意一个或扫描工作平台。

附图说明

通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本实用新型及其特征、外形和优点将会变得更明显。在全部附图中相同的标记指示相同的部分。并未刻意按照比例绘制附图，重点在于示出本实用新型的主旨。在附图中，为清楚明了，放大了部分部件。

图1示出了根据本实用新型的，一种4片盒单体传输结构的俯视图。

具体实施方式

以下结合附图及具体实施方式对本实用新型进行进一步详细说明。此处所描述的具体实施方式仅用于解释本实用新型，并不用于限定本实用新型的保护范围。

参考图1示出了根据本实用新型的，一种4片盒单体传输结构的俯视图。在一个具体实施例中，机架1为方形。其中，机架1上包括：4个片盒升降单元9，设置在所述机架1的一端；大理石平台2，设置在所述机架1的另一端；扫描工作台4，设置在所述大理石平台2上远离所述片盒升降单元9的一端，所述扫描工作台4上设置有承片台6；多工位导轨8，设置在所述大理石平台2上靠近所述片盒升降单元9的一端。

进一步地，多工位导轨8顶部设置有一旋转机械手7，如图1所示，旋转机械手7包括多个折臂。通过所述折臂，所述旋转机械手7可以在二维平面方向上在一个较大的半径范围内活动。旋转机械手7可以通过多工位导轨8在扫描工作台4和片盒升降机构9之间平移，从而实现基片（图1中未标示）的传输。

更进一步地，所述4个片盒升降单元9呈单列设置在所述多工位导轨8的一侧，每一个片盒升降单元与所述多工位导轨8之间的距离都相同。

在一个优选例中，所述多工位导轨8的导轨方向与所述4个片盒升降单元9的排列方向平行。旋转机械手7的底端固定在所述多工位导轨8旋转机械手7通过所述多工位导轨8可以移动至所述4个片盒升降单元9中任意一个片盒升降单元附近，这样，旋转机械手7就可以快速定位抓取片盒升降单元上的基片。

为了保证本实用新型在传输过程中与外界隔离，机架1上套有一个透明罩体（图1中未标示），所述罩体与所述机架接合处密封，不仅可以避免基片被污染，同时也方便工作人员观察本实用新型的工作状态。