[实用新型]4片盒单体传输结构有效
| 申请号: | 201120265444.X | 申请日: | 2011-07-26 |
| 公开(公告)号: | CN202230985U | 公开(公告)日: | 2012-05-23 |
| 发明(设计)人: | 李正贤;丁天祥 | 申请(专利权)人: | 上海卓晶半导体科技有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/00 | 分类号: | H01L21/00;H01L21/677 |
| 代理公司: | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人: | 王敏杰 |
| 地址: | 201203 上海市浦东新区张江*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 单体 传输 结构 | ||
1.一种4片盒单体传输结构,包括机架,其特征在于:
4个片盒升降单元,设置在所述机架的一端;
大理石平台,设置在所述机架的另一端;
扫描工作台,设置在所述大理石平台上远离所述片盒升降单元的一端,所述扫描工作台上设置有承片台;
多工位导轨,设置在所述大理石平台上靠近所述片盒升降单元的一端。
2.根据权利要求1所述的传输结构,其特征在于,所述多工位导轨顶部设置有 一旋转机械手。
3.根据权利要求1或2所述的传输结构,其特征在于,所述4个片盒升降单元呈单列设置在所述多工位导轨的一侧,每一个片盒升降单元与所述多工位导轨之间的距离都相同。
4.根据权利要求3所述的传输结构,其特征在于,所述多工位导轨的导轨方向与所述4个片盒升降单元的排列方向平行。
5.根据权利要求4所述的传输结构,其特征在于,所述机架上套有一个透明罩体,所述罩体与所述机架接合处密封。
6.根据权利要求5所述的传输结构,其特征在于,所述片盒升降单元包括:
片架升降电机,设置在所述机架里;
片架升降丝杠,底端连接所述片架升降电机,顶端竖直;
片盒,其底端竖直方向上设置有螺纹,连接所述片架升降丝杠。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





