[实用新型]一种太阳能硅片真空夹持吸盘

说明书

技术领域

本实用新型涉及太阳能硅片加工装置，具体涉及一种太阳能硅片真空夹持吸盘。

背景技术

现有的太阳能硅片的真空夹持吸盘，见图1，其包括真空设备1、吸盘2、箱体应3、中空轴电机4、旋转接头5、电磁阀6、紧定螺钉7、真空管道8，真空设备1产生真空，通常压力为-60～-100KPa，经由真空管道8输送至旋转接头5，电磁阀6在数控系统的控制下开启/关闭真空管道8的真空回路，旋转接头5连接在具有中空转轴的中空轴电机4转动轴的下端，紧定螺钉7将吸盘2固定在中空轴电机4转动轴的上端，半导体晶片9在真空作用下被牢固地吸附在吸盘2上，中空轴电机4带动半导体晶片9高速旋转。此结构中必须采用中空轴电机4作为电机，其设备成本高，且该结构复杂。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术中存在的缺陷，提供了一种太阳能硅片真空夹持吸盘，其结构简单，且设备成本低。

为实现上述目的，本实用新型的技术方案是提供了一种太阳能硅片真空夹持吸盘，包括吸盘、箱体座、电机、管路和电磁阀，在所述吸盘的中部设有曲面槽，所述电机输出端与所述吸盘的夹持端连接，其特征在于，所述电机为步进电机，在所述曲面槽的中心位置设有轴向盲孔，在所述吸盘的夹持端中部径向设有一水平倾斜的通孔，所述通孔与所述盲孔相互贯通，在所述通孔内装有真空发生器，所述真空发生器的真空口与所述盲孔连通，所述真空发生器的供气口与外部的压缩空气源相连通，所述真空发生器的排气口与外界空气连通。

作为优选的技术方案，在所述箱体座上部装有接头，在所述箱体座内壁设有一环形槽，所述接头与所述环形槽连通。

进行一步优选的技术方案，所述环形槽与所述真空发生器的供气口连通，所述压缩空气通过管路与所述接头连接。

进行一步优选的技术方案，所述真空发生器的排气口连通所述箱体座、吸盘的夹持端所形成的空腔。

本实用新型的优点和有益效果在于：该太阳能硅片真空夹持吸盘的上述结构中，当太阳能硅片装于所述吸盘上后，所述真空发生器工作，吸入压缩空气，使得所述盲孔内成为真空，导致太阳能硅片牢固吸持于所述吸盘上，空气然后再从所述真空发生器的排气口排出进入外界空气，此时底部转动的电机为步进电机，其结构简单，且设备成本低。

附图说明

图1为现有太阳能硅片真空夹持吸盘的主视图结构示意图；

图2本实用新型太阳能硅片真空夹持吸盘主视图的结构示意图；

图3为本实用新型太阳能硅片真空夹持吸盘的安装结构示意图。

图中：1、吸盘；2、箱体座；3、电机；4、管路；5、电磁阀；6、曲面槽；7、夹持端；8、盲孔；9、太阳能硅片；10、通孔；11、真空发生器；12、真空口；13、供气口；14、排气口；15、接头；16、环形槽；17、空腔。

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本实用新型的技术方案，而不能以此来限制本实用新型的保护范围。

如图2、图3所示，本实用新型是一种太阳能硅片真空夹持吸盘，包括吸盘1、箱体座2、电机3、管路4、电磁阀5，吸盘1的中部开有曲面槽6，电机3输出端连接吸盘1的夹持端7，电机3为步进电机，曲面槽6的中心位置开有轴向盲孔8，吸盘1的夹持端7中部的径向开有一水平倾斜通孔10，通孔10与盲孔8相贯通，通孔10内装有真空发生器11，真空发生器11的真空口12连通盲孔8，真空发生器11的供气口13连通外部的压缩空气相连通，真空发生器11的排气口14连通外界空气。箱体座2上部装有接头15，箱体座2内壁开有一环形槽16，接头15连通环形槽16，环形槽16连通真空发生器11的供气口13，压缩空气通过管路4连接接头15，真空发生器11的排气口14连通箱体座2、吸盘1的夹持端7所形成的空腔17。图中9为太阳能硅片。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。