[实用新型]一种太阳能硅片真空夹持吸盘

权利要求书

1.一种太阳能硅片真空夹持吸盘，包括吸盘、箱体座、电机、管路和电磁阀，在所述吸盘的中部设有曲面槽，所述电机输出端与所述吸盘的夹持端连接，其特征在于，所述电机为步进电机，在所述曲面槽的中心位置设有轴向盲孔，在所述吸盘的夹持端中部径向设有一水平倾斜的通孔，所述通孔与所述盲孔相互贯通，在所述通孔内装有真空发生器，所述真空发生器的真空口与所述盲孔连通，所述真空发生器的供气口与外部的压缩空气源相连通，所述真空发生器的排气口与外界空气连通。

2.如权利要求1所述太阳能硅片真空夹持吸盘，其特征在于，在所述箱体座上部装有接头，在所述箱体座内壁设有一环形槽，所述接头与所述环形槽连通。

3.如权利要求2所述太阳能硅片真空夹持吸盘，其特征在于，所述环形槽与所述真空发生器的供气口连通，所述压缩空气通过管路与所述接头连接。

4.如权利要求3所述太阳能硅片真空夹持吸盘，其特征在于，所述真空发生器的排气口连通所述箱体座、吸盘的夹持端所形成的空腔。