[实用新型]一种用于承载基板的玻璃条和平台装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及机械领域和液晶显示领域，特别是涉及用于承载基板的玻璃条和平台装置。

背景技术

目前TFT生产行业，生产设备用于承载基板的装置称为Stage(平台)，其中Stage的样式有很多种，现在新兴技术使用最多的stage是由Glass Bar(玻璃条)间隔一定的距离组装而成。Glass bar与Glass bar之间的间距是用于robot(机器人)手臂取送Glass(基板)，因此间隔距离较大。当很薄或者比较脆弱的基板放在Stage上时，会在间隔缝隙部位，产生向下的形变量，参见图1所示。每个Glass bar上有多个气孔，参见图2A和图2B所示。当气体通过GlassBar上的气孔向上吹起基板时，气孔上的基板部分被吹起，基板在气孔之间的间隔缝隙部位也会产生向下的形变量，参见图3和图4所示。

由于基板向下的形变，Glass Bar边缘很大的面积会和基板接触，当Clamp(夹具)向基板施加一个推力校正时，就会在Glass Bar的边缘产生一个很大的向下的摩擦力，Clamp推动基板会很费力。另外，不能使用一个很大的气压把基板完全吹起，否则由于基板形变量的不均匀，基板会飘移出Clamp所要校正的范围。并且，由于基板与Glass Bar都较光滑，如果基板与Glass Bar有接触面，会造成Glass Bar与基板之间有很大的粘附力，使得Clamp不能顺利把基板推动到正确的位置，造成设备的宕机，影响生产。以及，完全依靠气体将基板吹起，造成很大的气体消耗。目前采用的气体通常是CDA(干冷空气)，该气体需要专门的设备产生，对该设备的性能要求和损耗都比较大。

实用新型内容

本实用新型实施例提供一种用于承载基板的玻璃条和平台装置，用于实现基板的承载，并便于对基板进行位置校正和减少气体的排出。

一种用于承载基板的玻璃条，包括：气孔和第一滚珠；

第一滚珠为球体，位于气孔内，且第一滚珠的最大直径大于气孔的入气口直径和出气口直径。

第一滚珠的最大直径小于气孔的最大直径。

当气体将第一滚珠托起时，第一滚珠超出气孔的高度使基板不与玻璃条接触。

玻璃条还包括：位于气孔出口处的凹槽和多个第二滚珠；

多个第二滚珠位于凹槽内；当气体将第一滚珠托起时，第一滚珠与第二滚珠接触。

第二滚珠有多个，且布满凹槽。

第一滚珠的材料为玻璃。

气孔包括吹气孔和吸气孔。

第一滚珠位于吹气孔内。

一种平台装置，包括如前述的玻璃条。

本实用新型实施例中在玻璃条的气孔中设置第一滚珠，向气孔吹气时，气体将第一滚珠托起，使第一滚珠顶起基板，减少基板与玻璃条直接的摩擦和粘附力。当Clamp推动基板时，第一滚珠随着基板的移动而滚动，使得Clamp可以轻松推动基板以校正位置，并第一滚珠与基板之间存在较小的摩擦，可防止基板漂移。

附图说明

图1为现有技术中基板在玻璃条间发生形变的示意图；

图2A为现有技术中玻璃条的结构图；

图2B为现有技术中气流的示意图；

图3和图4为现有技术中基板在气孔间发生形变的示意图；

图5为本实用新型实施例中玻璃条的结构图；

图6为本实用新型实施例中气流的示意图；

图7为本实用新型实施例中包括凹槽和第二滚珠的玻璃条的结构图。

具体实施方式

本实用新型实施例中在玻璃条的气孔中设置第一滚珠，向气孔吹气时，气体将第一滚珠托起，使第一滚珠顶起基板，减少基板与玻璃条直接的摩擦和粘附力。当Clamp推动基板时，第一滚珠随着基板的移动而滚动，使得Clamp可以轻松推动基板以校正位置，并第一滚珠与基板之间存在较小的摩擦，可防止基板漂移。

参见图5，本实施例中玻璃条500包括气孔501和第一滚珠502。

气孔501的横截面为圆形，可包括吹气孔5011和吸气孔5012，这样气体可以很方便的循环利用，减少损耗。玻璃条500可包括多个吹气孔5011和吸气孔5012，吹气孔5011与吸气孔5012相间排列成直线。