[实用新型]一种用于承载基板的玻璃条和平台装置

权利要求书

1.一种用于承载基板的玻璃条，包括气孔，其特征在于，还包括：第一滚珠；

第一滚珠为球体，位于气孔内，且第一滚珠的最大直径大于气孔的入气口直径和出气口直径。

2.如权利要求1所述的用于承载基板的玻璃条，其特征在于，第一滚珠的最大直径小于气孔的最大直径。

3.如权利要求1所述的用于承载基板的玻璃条，其特征在于，当气体将第一滚珠托起时，第一滚珠超出气孔的高度使基板不与玻璃条接触。

4.如权利要求1所述的用于承载基板的玻璃条，其特征在于，还包括：位于气孔出口处的凹槽和第二滚珠；

第二滚珠位于凹槽内；当气体将第一滚珠托起时，第一滚珠与第二滚珠接触。

5.如权利要求4所述的用于承载基板的玻璃条，其特征在于，第二滚珠有多个，且布满凹槽。

6.如权利要求1所述的用于承载基板的玻璃条，其特征在于，第一滚珠的材料为玻璃。

7.如权利要求1所述的用于承载基板的玻璃条，其特征在于，气孔包括吹气孔和吸气孔。

8.如权利要求7所述的用于承载基板的玻璃条，其特征在于，第一滚珠位于吹气孔内。

9.一种平台装置，其特征在于，包括如权利要求1-8中任一项所述的玻璃条。