[实用新型]提高太阳能电池扩散均匀性的石英舟

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种石英舟，尤其是一种提高太阳能电池扩散均匀性的石英舟。 

背景技术

太阳能电池是利用光伏效应原理把太阳辐射能转换成电能，太阳能电池本质上是一个大面积半导体PN结的二极管，利用卧式扩散炉管在硅基片上进行扩散技术是制作太阳能电池PN结的核心技术，其技术的水平的高低直接影响太阳能电池光电转换效率，而硅片方阻均匀性是衡量卧式扩散炉管扩散效果的重要指标。因此，如何提高硅片方阻均匀性，是业内人士广泛关注的课题。 

传统的工艺，对于扩散方块电阻值要求在45-55ohm/sq左右，其扩散均匀性一般都能控制在5％以内。随着技术的革新，人们对扩散方阻值要求越来越高，因为更高的方阻值，其结越浅，浅结可以降低少数载流子复合几率，减少反向饱和电流，提高开路电压和短路电流。浅结使光生载流子产生率越高，收集率越高，故高的扩散方阻可以在高载流子产生区获得高的收集率，提高短路电流。因此人们在技术革新的今天，特别是研发出匹配高方阻的正电极银浆后，都努力致力于提高扩散的方阻值。 

现有技术不足之处：目前市场上针对太阳能的扩散炉管，大多数针对45-55ohm/sq方阻值，其均匀性能控制在5％以内。而对于60ohm/sq以上的方阻值，其均匀性比较难以控制，传统工艺使用的是普通的石英舟，硅片装载在这种石英舟上，在炉管里进行工艺，气流在炉管里传输，由于气流不能均匀的分布在硅片表面，造成硅片表面扩散浓度不一致，从而扩散方阻也不一致，均 匀性差。 

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是：克服现有技术中之不足，提供一种提高太阳能电池扩散均匀性的石英舟。 

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种提高太阳能电池扩散均匀性的石英舟，具有上盖和底盘，在上盖与底盘之间设置有两个挡板，挡板中可插入硅片，上盖与底盘上开有进气孔。 

所述的进气孔为10-20个，进气孔的直径为0.8-1.5mm。 

本实用新型的有益效果是：本实用新型结构简单，通过改进石英舟使炉管内的气流能均匀的分布到硅片上，改善太阳能电池扩散方阻的均匀性，提高太阳能电池片的开路电压和短路电流，最终提高太阳能电池的光电转换效率。 

附图说明

下面结合附图和实施方式对本实用新型进一步说明。 

图1是本实用新型的结构示意图。 

图2是图1的侧视图。 

图中：1.上盖，2.底盘，3.挡板，4.进气孔。 

具体实施方式

现在结合附图对本实用新型作进一步的说明。这些附图均为简化的示意图仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的构成。 

如图1和图2所示的提高太阳能电池扩散均匀性的石英舟，具有上盖1和底盘2，在上盖1与底盘2之间设置有两个挡板3，挡板3中可插入硅片，上盖1与底盘2上开有进气孔4，进气孔4有10-20个，进气孔4的直径为0.8-1.5mm。 

本实用新型不仅节约了改造炉管设备的成本，而且将太阳能电池扩散方阻为70ohm/sq片内均匀性从5％以上控制在5％以内，有效的提高了太阳能电池方阻均匀性，进而可以将太阳能电池的光电转换效率提高0.1％左右。 

本实用新型改善了太阳能电池扩方阻均匀性，是对石英舟进行改进，使硅片位于石英舟上，受气流反应均衡，最终改善太阳能电池扩散方阻均匀性。 

将传统的石英舟改为半封闭的鼠笼样式的石英舟，根据气流量来计算进气孔4的数量和直径。 

上述实施方式只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本实用新型的内容并加以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围，凡根据本实用新型精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围内。